Разработка и исследование метода осаждения оптических покрытий с заданным распределением толщины
Диссертация
Все вышесказанное делает проблему формирования слоев с заданным распределением толщины весьма актуальной, так как решение этой задачи необходимо при любом способе использования оптических покрытий. Как показано в данной работе, покрытие, нанесенное на искривленную поверхность, должно обязательно иметь асферический профиль уже для того, чтобы оно могло формировать спектральный состав… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА I. МЕТОДЫ НАНЕСЕНИЯ И КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ. ПОКРЫТИЙ
- 1. 1. Способы формирования слоев осаждением в вакууме
- 1. 2. Методы вакуумной асферизации
- 1. 3. Контроль толщины тонких пленок в процессе осаждения
- 1. 4. Контроль формы оптических асферических. .. поверхностей
- 1. 5. Выводы
- ГЛАВА 2. РАСЧЕТ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ,
- ПОЛУЧАЕМЫХ ИСПАРЕНИЕМ В, ВАКУУМЕ
- 2. 1. Постановка задачи
- 2. 2. Распределение толщины слоя на поверхности. подложки, совершающей планетарное вращение
- 2. 3. Распределение толщины слоя при использо-. вании испарителя, малых размеров
- 2. 4. Расчет распределения толщины слоя на подложках, со сферической, формой поверхности. Обсуждение.. результатов
- 2. 5. Выбор параметров подложки и геометрии вакуумной установки. дляздания поверхностей, заданной асферичностью
- 2. 6. Упрощенный расчет профиля слоя планоидных асферических элементов, изготовленных при одинарт-.. ном вращении подложки
- 2. 7. Выводы
- ГЛАВА 3. ОПТИМИЗАЦИЯ ФОРМЫ ПРИЕМНОЙ ПОВЕРХНОСТИ. ПРИ. МАССОВОМ ИЗГОТОВЛЕНИИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ
- 3. 1. Связь между формой приемной поверхности и геометрией испарительной установки при осаждении равнотолщинных слоев
- 3. 2. Определение оптимальной формы приемной поверхности при испарении из точечного и. плоского испарителя
- 3. 3. Выводы
- ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПОКРЫТИЙ ПЕРЕМЕННОЙ ТОЛЩИНЫ
- 4. 1. Экспериментальная вакуумная установка
- 4. 2. Особенности формирования диэлектрических. покрытий
- 4. 3. Исследование металло-диэлектрических асферизующих систем
- 4. 4. Антиотражательные фильтры с бесконечной контрастностью
- 4. 5. Выводы
Список литературы
- Анищенко Л.М., Лавренюк С. Ю. Тепловые режимы подложек при напылении пленочных покрытий. — «Физика и химия обработки материалов», М., «Наука», 1981, № 2, с. 21−25.
- Бабинцев В.Ф. К методике расчета масок для изготовления от-тенителей на оптических поверхностях вращения сложного профиля способом вакуумного испарения. «Оптические приборы», Сборник трудов ВЗМИ. М., 1972, с. 8−17.
- Берндт К.Г. Методы контроля и измерения толщины пленок и способы получения пленок, однородных по толщине. В кн. «Физика тонких пленок», М., «Мир», 1968, т. З, с.7−57.
- Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М., «Наука», 1970, 856 с.
- Бреев К.И. О распределении плотности потока эмиссии от поверхностных косинусных эмитеров на гладких поверхностях. -«Физика и химия обработки материалов», М., «Наука», 1982, № 3, с. 77−80.
- Васильев Л.А. Теневые методы. М., «Наука», 1968, 400 с.
- Гласко В.Б., Тихонов А. Н., Тихонравов A.B. О синтезе многослойных покрытий. «Журнал вычислительной математики и математической. физики», 1974, т.14, № 1, с. 135−144.
- Голубева Г. И., Клочков A.M., Шапочкин Б. А., Белозерова Т. И., Афанасьев К. Н. Способ получения асферических поверхностей. Авт. свидетельство № 585 133, класс С 03 С 17/30. «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1977,№ 47.
- Горелик В.В., Колчев B.C., Плотников B.C. Способ изготовления асферических поверхностей оптических деталей. Авт. свидетельство № 300 538, класс С 23 С 13/08. «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки», 1971, № 13.
- Горелик В.В., Колчев B.C., Плотников B.C. Установка для изготовления асферических поверхностей оптических деталей. Авт. свидетельство № 300 539, класс С 23 С 13/08. «Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки»,'1971, № 13.
- Гоффман Р.У. Механические свойства тонких конденсированных пленок. В кн. «Физика тонких пленок», М., «Мир», 1968, т. З, с. 225−298.
- Градштейн И.С., Рыжик И. М. Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. М., «Наука», 1971,1108 с.
- Дробот А.Д., Егоров В.Н.,-Клоков Ю.К., Маликов С. Н., Пантелеев Г .В., Пацкевич H.H., Ямпольский В. И. Оптимизация условий напыления оптических покрытий. «Оптико-механическая промышленность», 1981, № 8, с. 53−57.
- Духопел И.И. Контроль асферических поверхностей с небольшим отклонением, от сферы. «Оптико-механическая промышленность', 1964, № 1,.с. 24−28.
- Духопел И.И., Качкин С. С., Чунин Б. А. Изготовление и методы контроля асферических поверхностей. Л., „Машиностроение“, 1975,.86 с.
- Духопел И.И., Константиновская Н. В., Федина Л. Г. Методыконтроля формы асферических поверхностей вращения. „Опти-¦ ко-механичеекая промышленность“, 1975, № 7, с. 64−74. .
- Егоров В.Н., Клоков Ю. К., Маликов С. Н., Пантелеев Г. В. Повышение равномерности толщины вакуумных покрытий по поверхности детали. „Оптико-механическая промышленность“, 1950, № 4, с. 52−53.
- Жиглинский А.Г., Милованов Н. П. Устройство контроля волновых фронтов. Авт. свидетельство № 788 481, класс (т 01 В 11/02. -„Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки“, 1981, № 3.
- Жиглинский А.Г., Парчевский С. Г., Путилин Э. С., Эльснер З. Н. Границы сосуществования отражения и формирования волнового фронта диэлектрическими зеркалами. „Оптика и спектроскопия“, 1977, т.43, вып. 2, с. 283−287.
- Жиглинский А.Г., Путилин Э. С. Оптимальные условия формирования однородных тонких слоев. „Оптико-механическая промышленность“, 1971, № 9, с. 46−49.
- Жиглинский А.Г., Путилин Э. С. Формирование волнового фронтас помощью интерференционных покрытий. „Оптика и спектроскопия“, 1972, т.32, с. II76-II78.
- Жиглинский А.Г., Путилин Э. С. Широкополосные диэлектрические зеркала. „Журнал прикладной спектроскопии“, 1969, т. Ю, № 6, с. III3-III7.
- Жиглинский А.Г., Путилин Э. С., Эльснер З. Н. Расчет и реализация широкополосных полупрозрачных зеркал. „Оптика и спектроскопия“, 1971, т.31, с. 419−423. .
- Забежинский А.Д., Кацнельсон А. Б., Староверов Г. И., Фурман Ш. А. Автомат для контроля.толщин-пленок в процессе изготовления многослойных покрытий., — „Оптико-механическая промышленность“, 1973, № 5, с. 36−39.
- Заказнов Н.П., Горелик В. В. Изготовление асферической оптики. М., „Машиностроение“, 1978, 248 с.
- Заказнов Н.П., Шапочкин Б. А., Кузичев В. И., Горелик В. В. Изготовление асферических поверхностей оптических деталей, -„Известия вузов. Геодезия и аэрофотосъемка“, 1967, вып. 5, с. I5I-I57.
- Капани Н. Волоконная оптика. М., „Мир“, 1969, 464 с.
- Кард П.Г. Анализ и синтез многослойных интерференционных пленок. Таллин, „Валгус“, 1971, 236 с.
- Кацнельсон Л.Б. Методы контроля оптической толщины интерференционных пленок, наносимых в вакууме. „Оптико-механическая промышленность“, 1969, № 4, с. 50−58.
- Кирилловский В.К. Методы исследования пятна рассеяния оптической системы. „Оптико-механическая промышленность“, 1932, № 5, с. 50−57.
- Ковалев В.И., Хомякова Ф. Т., Чариков A.B. Расчет толщины слоя при нанесении покрытий в вакууме. „Оптико-механическая промышленность“, 1981, № 10, с. 45−48.
- Комраков Б.М., Чудакова В. А. Контроль формы асферических поверхностей с помощью лазерного интерферометра. „Оптико-механическая промышленность“, 1981, № 10, с. 33−36.
- Корн Г., Корн Т. Справочник по математике. М., „Наука“, 1974, 831 с.. .
- Королев §-.А., Клементьева АЛО., Мещерякова Т. Ф. Многослойные интерференционные диэлектрические светофильтры для видимой и ближней инфракрасной области спектра. „Инженерно-физический журнал“, i960, № 1, с. 55−61.
- Коссель Д., Дейчер К., Гиршберг К. Интерференционные фотокатоды. В кн. „Физика тонких пленок“, М., „Мир“, 1972, т.5, с. 7−45. .
- Креопалова Г. В. Пуряев Д.Т. Исследование и контроль оптических систем. М., „Машиностроение“, 1978, 224 с.
- Крылова Т. Н. Интерференционные покрытия. Л., „Машиностроение“, 1973, 224 с.
- Кузаев И.Ф. Новый метод изготовления несферических поверхностей высших порядков для коррекции оптических систем. -„Техника телевидения“, 1954, № 2, с. 45−47.
- Кузичев В.И. Искажение профиля поверхности при вакуумной асферизации. Труды МВТУ им. Баумана „Оптические и оптико-злектронные приборы“, М., Оборонгиз, 1962, № 110, с. II8-I28.
- Кузичев В.И. Особенности технологии изготовления высокоточных асферических поверхностей методом вакуумной асферизации. „Оптико-механическая промышленность“, 1965, № 9,с. 36−40.
- Лаврентьев М.А., Шабат Б. В. Методы теории функций комплексного переменного. М., „Наука“, 1973, 736 с.
- Ларионов Н.Т., Лукин A.B., Рафиков P.A. Голографический контроль асферических поверхностей. „Оптико-механическая промышленность“, 1979, № 4, с. 35−38.
- Лупашко Б.А., Шкляревский И. И. Дисперсия коэффициента отражения и фазового сдвига антиотражающего многослойника. -„Курнал прикладной спектроскопии“, 1969, т. П, вып. 4, с. 19−23.
- Метфессель С. Тонкие пленки, их.изготовление и измерение. М., Л., Госэнергоиздат, 1963, 272 с.
- Моричев И.Е., Балаков A.B. Басяева Л. И. Вакуумные установки для получения оптических покрытий. „Оптико-механическая промышленность“, 1976, № 10, с. 43−45.
- Отражающая защитная пленка, содержащая асферический слой. Патент США № 4 261 645, класс (г 02 В 1/10, 1981.
- Пантелеев Г. В., Черенков М. Г., Шафиркин Б. В., Ямпольский В. И., Егоров В. Н. Особенности нанесения покрытий методом электронно-лучевого испарения. „Оптико-механическая промышленность1,' 1983, 1Г°9, с. 30−32.
- Пантелеев Г. В., Ямпольский В. И., Егоров В. Н. Оптимальные условия напыления однородных по толщине пленок. „Оптико-механическая промышленность“, 1978, № 2, с. 27−29.
- Пантелеев Г. В., Ямпольский В. И., Егоров В. Н., Моршаков В. В. Функция распределения плотности газового потока электроннолучевого испарителя. „Оптико-механическая промышленность',' 1982, № 5, с. 42−44.. .
- Поздняк Н.И., Мыльников B.C. Лазерное напыление многослой-. ных покрытий. „Оптико-механическая промышленность“,'1980, № 2, с. 47−49.
- Пономаренко Г. Т. Метод и прибор для измерения оптических толщин слоев веществ, изготавливаемых напылением в вакууме."Оптико-механическая промышленность“, 1965, № 6, с. 33−37.
- Пуряев Д.Т. Контроль асферических поверхностей вращения, второго порядка на.интерферометре Тваймана. „Изв.высш.учебных заведений СССР. Приборостроение „т.%, 1967, № 6, с.99--101. .
- Пуряев Д.Т. 0 контроле асферических поверхностей вращения . ., второго порядка, изготовленных методом вакуумной асферизации. „Оптико-механическая промышленность“, 1967, № 11, с.69−72.
- Пуряев Д.Т. Применение коррекционных пластин, изготовленных методой вакуумной асферизации, для контроля асферических поверхностей. „Оптико-механическая промышленность“, 1971, № 10, с. 45−48.
- Пуряев Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей. М., „Машиностроение“, 1976, 262 с.
- Пуряев Д.Т., Савостин Т. Д. Интерферометр для контроля толщин слоев в процессе вакуумной асферизации оптических деталей. „Оптико-механическая промышленность“, 1973, № 3, с. 21−24.
- Путилин Э.С. Исследование многослойных интерференционных систем. Кандидатская диссертация, ЛГУ, 1972.
- Русинов М.М. Несферические поверхности в оптике. Расчет,. изготовление и контроль. М., „Недра“, 1973, 296 с.
- Савелов A.A. Плоские кривые. М., §-изматгиз, i960, 293 с.
- Седова А.Д., Сальников Ю. В. Автоматизированный контроль асферических поверхностей. Межвузовский сборник „Прогрессивные методы изготовления и контроля современных оптических и оптико-электронных приборов“, Новосибирск, НИИГАиК, 1982, с. 34−38.. .
- Сергеев В.Н., Шапочкин Б. А. Маска для напыления. Авт. свидетельство № 576 790, класс С 23 С 13/08. „Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки“, 1977, № 33“
- Смирнов В.И. Контрольная установка для изготовления диэлектрических интерференционных светофильтров. „Оптико-механическая промышленность“, i960, № 5, с. 17−18.
- Стронг Дж. Техника физического эксперимента. „Лениздат“, 1948.
- Телен А. Конструирование многослойных интерференционных светофильтров. В кн. „Физика тонких пленок“, М., „Мир“, 1972, т.5, с. 46−83.
- Технология тонких пленок. Справочник под ред. Л. Майсела, Р. Гленга. М.“ „Советское радио“, 1977, т.1, 662 с.
- Технология тонких пленок. Справочник под ред. Л. Майсела, Р. Гленга. М., „Советское радио“, 1977, т.2, 764 с.
- Тихонравов A.B., Клементьева А. Ю. О синтезе многослойных непоглощающих покрытий. „Журнал прикладной спектроскопии“, 1973, т.19, с. 566.
- Турыгин H.A. Применение в оптических системах асферических поверхностей, малоотличающихся от сферы. Труды МВТУ им. Баумана. „Расчеты оптических систем“, Оборонгиз, 1961, № 102, е.5−34.. .
- Фурман Ш. А. Тонкослойные оптические покрытия. Л., „Машиностроение“, 1977, 264 с.
- Фурман Ш. А., Левина М. Д. Изменение топографии оптических характеристик интерференционного покрытия. „Оптико-механическая промышленность“, 1976, № 12, с. 35−37.
- Хасс Дж., Гюнтер В. Р. Новые разработки вакуумных ультра- . фиолетовых отражающих покрытий для космической астрономии. В кн. „Космическая оптика“, М., „Машиностроение“, 1980, с. 340−360.
- Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. М. Л., Госэнергоиздат, 1963, 608 с.
- Хоувел В.Е. Последние достижения в области оптического контроля больших оптических телескопов. В кн. „Космическая оптика“, М., „Машиностроение“, 1980, с. 156−168.
- Шапочкин Б.А. Фотографический объектив с асферическими поверхностями. Тезисы доклада на Межвузовской конференции, МВТУ, 1959, с. 65−67.
- Шапочкин Б.А. Вакуумная асферизация. „Оптико-механическая промышленность“, 1960, № 6, с. 41−43.
- Шапочкин Б.А. Асферизация нанесением дополнительного слоя вещества в вакууме. Труды МВТУ им. Баумана „Расчеты.оптических систем“, М., Оборонгиз, 1961, № 102, с. 43−49.
- Шапочкин Б.А. Интерференционный способ контроля толщины прозрачных слоев. Авт. свидетельство № 172 085, классу 02 &. „Изобретения, промышленные образцы, товарные знаки“, 1965, № 12.
- Шапочкин Б.А. Об интерференционном способе контроля толщины прозрачных слоев на поверхностях относительно большой кривизны. „Известия вузов. Приборостроение“, 1966, № 4, с. 121−125.
- Шапочкин Б.А. Линза. Авт. свидетельство № 184 475, класс22И, 1/01. „Изобретения, промышленные образцы, товарные знаки“, 1966, № 15.
- Шапочкин Б.А. Исправление аберраций с помощью прозрачных слоев переменной толщины. „Известия.вузов. Геодезия и аэрофотосъемка“, 1968, № 2, с. 119−122.
- Шапочкин Б.А. Выбор базовой сферы для асферизации. г „Из-. вестия вузов. Приборостроение“, 1971, т. Х1У, № 5, с. 95−98.
- Шапочкин Б.А. Использование диафрагм для перераспределения освещенности на экране. Труды МВТУ им. Баумана, М., 1975, № 180, с. 90−97.
- Шапочкин Б.А., Клочков A.M., Комраков Б. М. Прямой способ контроля асферизующих слоев в процессе их получения. -„Оптико-механическая промышленность“, 1976, № 6, с, 67−68.
- Шапочкин Б.А., Комраков Б. М. Интерференционное устройство для контроля оптических поверхностей. Авт. свидетельство № 530 169, класс (т 01 В 9/02. „Открытия, изобретения, промышленные образцы, товарные знаки“, 1976, № 36.
- Шапочкин Б.А., Кузичев В. И. Расчет масок для изготовления асферических поверхностей нанесением дополнительного.слоя вещества в вакууме. Труды МВТУ им. Баумана „Расчеты.оптических систем“, М., Оборонгиз, 1961, № 102, с. 50−60.
- Шапочкин Б.А., Кузичев В. И. Пространственное распределение молекулярных пучков сульфида цинка. Сборник докладов „Технология изготовления и контроль асферических поверхностей“, М., 1968, с. 60−69.
- Шапочкин Б.А., Кузичев В. И., Сергеев В. Н. Экранирование молекулярных пучков.при вакуумной аеферизации. Труды МВТУ им. Баумана, М., 1967, № 123, с. 139−143.
- Шапочкин Б.А., Сергеев В. Н. Распределение конденсата моноокиси кремния в вакууме от угла падения молекулярных пучков. Труды МВТ/“ им. Баумана, М., 1970, № 135,с. 157−162.
- Шапочкин Б.А., Сергеев В. Н. 0 форме поверхности планоид-ного зеркала без оси симметрии и возможности его изготовления вакуумной асферизацией. Труды МВТУ им. Баумана,
- М., 1973, № 155, с. II7-I24.
- Шапочкин Б.А., Сергеев В. Н. Распределение конденсата моноокиси кремния от протяженного источника. „Оптико-механическая промышленность“, 1978, $ 6, с» 49−51.
- Badouel E., Giakomo P. «Applied Optics», 1966, 5, p.63.
- Behrndt K.H. «Ninth National Symposium on Vacuum Technology Transactions», New York, 1962, p.111.
- Behrndt K., Donghty D. «J.Vacuum S.ci.and Technol.», 1966, 3, p.264.
- O’Brien B., Eussel T.A. «Journal of the Optical Society of America», 1934, 24, p.54.
- Deppisch G. «Vakuum Technik», 1981, v.30, N 3, S.67.
- Dobrowolski I., Wenstein.- «Nature», 1955, vol.175, N 4458, p.646.
- Fisher E.A., Piatt I.E. «Eev.Sci.Instr.», 1937, 8, p.505.
- Gabla L., Lee F., Niewodniczanski «Acta Phys. PolonV, 1963, 23, p.255.
- Giacomo P., Roizen-Dossier B., Roizen S.-«I.Phys."(Paris), 1964, 25, p.285.
- Hartz A.- «Optik», 1971, 32, N 6, S.585.
- Holland L. Steckelmacher W. «Vacuum», 1952, 2, p.346.
- Koppelmann G.- «Ann.Physik». Leipzig, i960, 5, S.397.
- Koppelmann G.- «Optik», 1961, 18, S.358.
- Koppelmann G., Vosskuhl er W. «Optik», 1965, 23, S.181.
- Krebs K.- «Optik», 1961, 18, S.549.
- Lissherger P.H., Eing I. «Optica Acta», 1955, 2, p.42.'
- Manolesky A.- «Eev.romanic Phys.», 1967, 12, p.817.
- Netterfild R.P., Ramsay I.V.- «Applied Optics», 1974, vol.15, N 11, p.2685.
- Papini F. jBazan H.- «Rev. d1optique», 1967, 46, p.152.
- Perry D.L. «Applied Optics», 1965, 4, p.987.
- SawakL T., Iwata M., Katsube S., Hoza Z.- «J.Phys.», 1964, 25, p.258.119» Schulz L.G.- «Journal of the optical Society of America», 1947, vol.57, p.549t 509.
- Schulz L.G. «Journal of the Optical Society of America», 1948, vol.58, H 5, p.452.
- Strong I., Gaviola E. «Journal of the Optical Society of America», 1956, vol.26, N 4, p.155.
- Toshida S.- «Thin Solid Films», 1979, vol.56, IT 5, P"521.