Ионные источники. 
Масс-спектроскопия

Масс-спектрометры классифицируются также по способам ионизации, в качестве которых используются: 1) ионизация электронным ударом; 2) фотоионизация; 3) ионизация в сильном электрическом поле (полевая ионная эмиссия); 4) ионизация ионным ударом (ионно-ионная эмиссия); 5) поверхностная ионизация; электрическая искра в вакууме (вакуумная искра); 6) ионизация под действием лазерного луча.

В аналитической масс-спектроскопии наиболее часто применяются благодаря относительной технической простоте и достаточно большим создаваемым ионным токам способы: 1 — при анализе испаряемых веществ; 2 — при работе с трудноиспаряемыми веществами и 3 — при изотопном анализе веществ с низкими потенциалами ионизации. Способ 2 благодаря большому энергетическому разбросу ионов обычно требует анализаторов с двойной фокусировкой даже для достижения разрешающей силы в несколько сотен единиц. Значения средних ионных токов, создаваемых ионным источником с ионизацией электронным ударом при энергии ионов в 40−100 эВ и ширине щели источника несколько десятков мкм, составляют 10^-10-10^-9 А. Для других способов ионизации эти токи обычно меньше. «Мягкая» ионизация, т. е. ионизация молекул, сопровождаемая незначительной диссоциацией ионов, осуществляется с помощью электронов, энергия которых лишь на 1−3 эВ превосходит энергию ионизации молекулы. Получаемые при «мягкой» ионизации токи обычно 10^-12-10^-14 А.