Функция модуляции передачи

Качество изображения на резисте по отношению к изображению на шаблоне определяется функцией модуляции передачи (ФМП) устройства экспонирования. В принципе ФМП соответствует синусоидальному распределению интенсивности света при отображении рисунка шаблона в виде сетки, характеризующейся пространственной частотой v, равной обратной величине шага сетки. Модуляция шаблона как функции v определяется выражением:

где J_max и J_rml, — максимальное и минимальное значения локальной интенсивности изображения на шаблоне.

Если определена соответствующая модуляция на пленке резиста, то ФМП-устройства экспонирования можно записать следующим образом:

Отношение JmaJJmin называют контрастом С. Литографическая характеристика устройства экспонирования может быть оценена при построении графика зависимости ФМП от пространственной частоты.

На характеристику переноса изображения устройством экспонирования влияет степень когерентности экспонирующего освещения. Степень оптической когерентности S сканирующих проекционных систем, передающих изображение в масштабе 1:1, определяется следующим соотношением:

где: Аоо — числовая апертура освещающей оптики; Ац₀ — числовая апертура проекционной оптики.

Малая величина S указывает на то, что угловой диапазон волн экспонирующего освещения, падающего на шаблон, мал, так что освещение обладает высокой когерентностью. Большая величина S означает большой угловой диапазон волн экспонирующего освещения, которые уже коллимируются проекционной оптикой. Эти волны обеспечивают так называемое нскогерентное освещение.