Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π΅Π³ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅
ΠΠ»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ. ΠΠ΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΡ Ρ ΡΠΎΠΌΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π³ΠΈΠ΄ΡΠΈΠ΄Π° ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ². ΠΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΡΠ°Π·ΠΎΠ³ΡΠ΅Π²Π°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΊΠΈΠΏΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ. ΠΠ»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΡ… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π΅Π³ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
ΠΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, Π΄Π»Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ sp3-Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»Π΅ΠΉ. Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ Π³ΠΈΠ±ΡΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠΊΡ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅ΡΡΡΡΡ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ΅Π½. Π ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅Π±Ρ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅ΡΡΡΡΡ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠΎ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΡΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ +4 ΠΈΠ»ΠΈ ?4. ΠΡΡΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π΄Π²ΡΡ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (II) — SiO.
ΠΡΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ°ΠΊΡΠΈΠ²Π΅Π½ ΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ ΡΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π»Π΅ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiF4. Π’Π°ΠΊΠ°Ρ «Π½Π΅Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ» ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π° Ρ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π½Π΅ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ Π² ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°, Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΎΠ΄Ρ (Π²ΠΎΠ΄ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²).
ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ²ΡΡΠ΅ 400—500 Β°C ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° SiO2, ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ»ΠΎΡ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π»ΠΈΠΌΠΈΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠ΅ΠΉ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Ρ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΡ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°.
ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ²ΡΡΠ΅ 400—500 Β°C ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ Ρ Π»ΠΎΡΠΎΠΌ, Π±ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ ΠΈ ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠΌ — Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Π»Π΅ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡΠ°Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠ² SiHal4 ΠΈ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠ² Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π°.
Π‘ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π½Π΅ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ, ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ — ΡΠΈΠ»Π°Π½Ρ Ρ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»ΠΎΠΉ SinH2n+2 — ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΊΠΎΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΠΎΠ½ΠΎΡΠΈΠ»Π°Π½ SiH4 (Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠΌ) Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ:
ΠΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΠΉΡΡ Π² ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΡΠΈΠ»Π°Π½ SiH4 ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠ², Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π΄ΠΈΡΠΈΠ»Π°Π½Π° Si2H6 ΠΈ ΡΡΠΈΡΠΈΠ»Π°Π½Π° Si3H8, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠ° ΠΈΠ· Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠΌΠΈ (—Si—Si—Si—).
Π‘ Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1000 Β°C ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ Si3N4, Ρ Π±ΠΎΡΠΎΠΌ — ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠ΅ Π±ΠΎΡΠΈΠ΄Ρ SiB3, SiB6 ΠΈ SiB12.
ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ²ΡΡΠ΅ 1000 Β°C ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡΠ΅Π³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³Π° ΠΏΠΎ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ ΠΠ΅Π½Π΄Π΅Π»Π΅Π΅Π²Π° — ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° — ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiC (ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΡΡΠ½Π΄), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΡ. ΠΠ°ΡΠ±ΠΎΡΡΠ½Π΄ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π». ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ, ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (1415 Β°C) ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Ρ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΡ ΠΊΡΡΠΊΠΎΠ² ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΏΠ΅ΡΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΠ·Π΅ΡΠ½ΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΈΠ·ΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡ Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠΌ.
ΠΠΈΠΆΠ΅Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ 4-ΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ (Ge, Sn, Pb) Π½Π΅ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΡ Π² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ. Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Π½Π° Π΄Π²Π΅ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ: ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ (ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ , ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠ·Π΅ΠΌΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠΏΠ° Ca2Si, Mg2Si ΠΈ Π΄Ρ.) ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ (ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ²). Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ, ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ Π½Π΅ ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ (Π΄ΠΎ 2000 Β°C). ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠ² MeSi, Me3Si2, Me2Si3, Me5Si3 ΠΈ MeSi2. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ½Ρ, ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²Ρ ΠΊ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ .
ΠΡΠΎΠ±ΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ Ρ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ ΡΠ²ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠΌΠ΅ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΠ΅ΠΊΠ°ΡΡ (ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»ΡΡΡ) ΡΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡ , ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΡΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ SiO2 ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ²ΡΡΠ΅ 1200 Β°C ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (II) — SiO. ΠΡΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΎΠΌΡ ΡΡΠΎ Π² Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΉΠ½Π΅ΡΡ ΠΈΠ· Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°.
ΠΠ»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Ρ Π² Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠΈ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠΎΡΡΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° —Π—, Π° ΠΊ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌΡ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ Π΄Π²ΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π, ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Ρ Π΅ΡΡ Π΄Π²Π° ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»Π° R1 ΠΈ R2 = CH3, C2H5, C6H5, CH2CH2CF3 ΠΈ Π΄Ρ.
ΠΠ»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ. ΠΠ΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΡ Ρ ΡΠΎΠΌΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π³ΠΈΠ΄ΡΠΈΠ΄Π° ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ². ΠΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΡΠ°Π·ΠΎΠ³ΡΠ΅Π²Π°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΊΠΈΠΏΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ.
Si+2HNO3=SiO2+NO+NO2+H2O.
SiO2+4HF=SiF4+2H2O.
3SiF4+3H2O=2H2SiF6+vH2SiO3.
ΠΠ»Ρ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ΅ΠΉ. Π’ΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°Ρ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 60 Β°C.
Si+2KOH+H2O=K2SiO3+2H2^.
K2SiO3+2H2O-H2SiO3+2KOH.