Π ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠΈΡΠ΅ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡ
Π΅ΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ
, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ Π² Π±ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ. ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π½Π°ΡΠ° ΠΆΠΈΠ·Π½Ρ Π²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΡ
Π΅ΠΌ Π² Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΡ
ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
. Π ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ ΠΈ Π² ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ
ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ.
Π Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Ρ Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ (ΡΠΈΡ. 1), ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Π½Π°: ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΠΊΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΡ 0Β°Π‘-70Β°Π‘, ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΡ -40Β°-85Β°Π‘, Π²ΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΡ -55Β°Π‘-125Β°Π‘, ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ
ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ -55Β°-250Β°C, ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Π΄ΠΎ 400 Β°C [1].
Π ΠΈΡ. 1 Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Ρ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° Π²ΠΎΡΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½Π° Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ
, Π³Π΄Π΅ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΡ
Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π° ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΡ
Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΊΠΎΡΠ°Π±Π»Π΅ΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠ΅ [8−11]. Π’Π°ΠΊ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ Ρ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»Π°. Π£ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ° Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ
Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΈ Π²Π΅Ρ, ΡΡΠΎ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΎΠ±ΡΡΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ°ΠΊΠΈΡ
ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Π² ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΠΎΡ
Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ.
Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΡ
Π΅ΠΌΡ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ
ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΎΡΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ [12, 13]. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ ΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ
ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ² ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ². Π, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΎΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ.
ΠΠ»Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΡ
Π΅ΠΌ ΡΠΎ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ ΠΠΠΠ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π΄Π²ΡΡ
ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ° ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΈΠΌΠ΅Π»Π°ΡΡ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΠΠ ΠΠΠ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² 0,5-ΠΌΠΊΠΌ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ n_ΡΠΈΠΏΠ°. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠ»Π° Π·Π°Π΄Π°ΡΠ° ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ Π΄Π»Ρ p-ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ².
Π ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΉ Π³Π»Π°Π²Π΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π° ΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΠΠ-ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π½Π° ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅. ΠΠΎ Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ Π³Π»Π°Π²Π΅ Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΈΡ
Π²ΠΈΠ΄Ρ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π² Π΄Π°Π½Π½ΡΡ
ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΡΡ
. Π ΡΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΉ Π³Π»Π°Π²Π΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ»ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½ΡΡ
Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΠΠΠ ΠΠΠ-ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² 0,5-ΠΌΠΊΠΌ ΠΠΠΠ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΈΡ
ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ SPICE-ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΡΠΎΠΉ Π³Π»Π°Π²Π΅. Π ΠΏΡΡΠΎΠΉ Π³Π»Π°Π²Π΅ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠΎΡΠ° Π² ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ
ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ.