Исследование возможности использования тонкопленочных монолитных слоистых структур для создания устройств обработки широкополосных сигналов и мониторинга окружающей среды
Диссертация
Развитие акустоэлектроники однозначно показало, что из всех известных типов акустических волн с точки зрения практических применений наибольший интерес представляют поверхностные акустические волны (ПАВ), т. е. акустические волны, распространяющиеся вдоль поверхности твердых тел в относительно тонком приповерхностном слое. Такие волны доступны на всем пути их распространения, и это обстоятельство… Читать ещё >
Содержание
- Глава I. ВЛИЯНИЕ ПОПЕРЕЧНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ НА ФАЗОВУЮ СКОРОСТЬ ПАВ В МОНОЛИТНОЙ СЛОИСТОЙ СТРУКТУРЕ п-Б1-Б10х-гпС)
- 1. 1. Особенности технологии нанесения пьезоэлектрических пленок окиси цинка (объект исследований)
- 1. 2. Экспериментальные исследования изменения фазы ПАВ, распространяющейся в слоистой структуре п-5з.-Б10х-2п0, при приложеншш поперечного постоянного напряжения
- 1. 3. Расчет изменения волнового вектора ПАВ при подаче поперечного постоянного поля в монолитной слоистой структуре
- 1. 4. Основные результаты главы
- Глава II. ИССЛЕДОВАНИЕ ПАВ-КОНВОЛЬВЕРОВ, РАБОТАЮЩИХ НА УПРУГОЙ НЕЛИНЕЙНОСТИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРЙКА
- 2. 1. ПАВ-конвольверы, использующие упругую нелинейность пьезо-электрика (предварительные замечания)
- 2. 2. Влияние периодических структур на выходные характеристики волноводных ПАВ-конвольверов
- 2. 3. ВШП с емкостным взвешиванием электродов (выбор объекта исследований)
- 2. 4. Экспериментальное исследование широкополосного ПАВ-конвольвера, использующего ВШП с емкостным взвешиванием электродов
- 2. 5. Основные результаты главы
- Глава III. НЕЛИНЕЙНОЕ АКУСТОЭЛЕКТРОННОЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ В ТОНКОШЕ-НОЧНОЙ СЛОИСТОЙ СТРУКТУРЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРЖ LiNKy ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ПЛЕНКА InSb
- 3. 1. Расчет величины сигнала свертки для планарно-поперечного ПАВ-конвольвера на основе монолитной слоистой структуры пьезоэлектрик — тонкая полупроводниковая пленка
- 3. 2. Особенности изготовления монолитных слоистых структур YZ-срез LiNbOn ~ sio — InSb — AI (описание объекта исследований)
- 3. 3. Экспериментальные исследования планарно-поперечных ПАВ-конвольверов на основе монолитной слоистой структуры YZ-срез LiNb
- Sio — InSb — AI
- 3. 4. Основные результаты главы
- Глава I. Y. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ СОЗДАНИЯ НИЗКОЧАСТОТНЫХ ШИРОКОПОЛОСНЫХ ЛИНИИ ЗАДЕРЖКИ НА ПАВ
- 4. 1. Управляемое внешним напряжением электроакустическое преобразование
- 4. 2. Демодуляция радиосигналов за счет акустоэлектрического эффекта
- 4. 3. Низкочастотная широкополосная линия задержки
- 4. 4. Основные результаты главы
- Глава. Y. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СОСТАВНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ РЕЗОНАТОРОВ ДЛЯ СОЗДАНИЯ СОРЕЦИОННЫХ ХИМИЧЕСКИХ СЕНСОРОВ ДЛЯ ГАЗОВОГО АНАЛИЗА
- 5. 1. Исследование характеристик текстурированных пленок нитрата гуанидина и пьезопреобразователей, созданных на их основе
- 5. 2. Резонансный характер чувствительности химических сенсоров на основе составных акустических резонаторов
- 5. 3. Основные результаты главы
Список литературы
- Шапошников И.Г. О распространении звука в кристалле, обладающем пьезоэлектрическими свойствами.- ЖЭТФ, 1941, т.11, N 2−3, с.332−339
- Hutson A.R., McFee J.H., White D.L. Ultrasonic amplification in CdS. Phys. Rev. Lett., 1961, v. 7, N 6, p. 237−239.
- Гуляев Ю.В., Пустовойт В. И. Усиление поверхностных волн в полупроводниках. ЖЭТФ, 1964, т.47, N 6, с.2251−2253.
- Жаффе Г., Берлинкур Д. Пьезоэлектрические материалы для преобразователей.- ТИИЭР, 1965, т.53, N 10, с.1552−1557.
- Foster N. F., Rozgony G. A. Zinc oxide film transducers.- Appl. Phys. Lett., 1966, v. 8, N9, p. 221−223.
- Martin S.J., Schwarts S. S., Gunshor R.L., Pierret R. F. Surface acoustic wave resonators on ZnO-on~Si layered medium. J. Appl. Phys., 1983, v. 54, N 2, p. 561−569.
- Martin S.J., Gunshor R.L., Pierret R. F. Zinc oxide on -silicon surface acoustic wave resonators.- Appl. Phys. Lett., 1980, v. 37, N 8, p. 700−701.
- Miyasaka Y., Hoshino S., Takahashi S. Temperature compensated
- ZnO/SiC^/Si thin film resonator for VHF voltage controlled oscillator.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1985, p. 346−351.
- Altan B.S., Bobbins V. P. Tarnable ZnO~Si SAW devices using magnetostrictive thin film.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1981, p. 311−314.
- Urabe S. Voltage controlled monolithic SAW phase shifter and its application to frequency variablt oscillator.- IEEE Trans. Sonics and Ultrason., 1982, v. SU~29, N5, p. 255−261.
- Вершинин M.C., Осипенко В. А., Сурыгин A.M., Усов В. И. Электронное управление фазовой скоростью ПАВ в структуре окись цинка на кремнии.- Письма в ЖТФ, 1988, т.4, N 18, с.743−747
- Palmieri L., Socino G., Verona E. Nonlinear electroelastic effect in acoustic layer mode propagation along ZnO/Si structures. -Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1986, p. 1093−1096.
- Palmieri L., Socino G., Verona E. Electroelastic effect in layer acoustic mode propagation along ZnO film on Si substrates.-Appl. Phys. lett., 1986, v. 49, N23, p. 1581−1583.
- Arya S. P. S., D’Amico A., Verona E. Stady of sputtered Zn0~Pd thin films as solid state and NHg gas sensors.- Thin Solid Films., 1988, v.157, p.169−174.
- Колдрен I.А. Характеристики устройств из окиси цинка на кремнии для обработки и хранения сигналов.- ТШЭР, 1976, т.64, N 5, с.246−249.
- Кайно Г. С. Акустоэлектронное взаимодействие в устройствах на ПАВ.- ТИИЭР, 1976, т.64, N 5, с.188−217.
- Khuri-Yakub В. Т., Kino G. S. A detalied theory of the monolithic zinc oxide on silicon convolver.- IEEE Trans. Sonics and Ultrasonics, 1977, v. SU~24, N 1, p. 34−43.
- Matsumoto K., Yasudo T. Report on a ZnO/Si SAW convolver with nonlinear MIS-transistor effect.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1978, p.54−59.
- Kino G.S. Zinc oxide on silicon acoustoelectric devices.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1979, p.900−910.
- Cherne R.D. t Melloch M. R., Gunshor D. L., Pierret R. F. Bias stable ZnO-on-Si SAW devices.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1981, p. 780−783.
- Tuan H. C. t Grant P.M., Kino G. S. Theory and application of zink-on silicon monolithic storage correlator.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1978, p. 38−43.
- Augustine F.L., Schwartz R.J., Gunshor R. L. Experimental observation of charge transfer by surface acoustic waves in a monolithic metal/Zn0/Si02/Si (MZOS) device.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1981, p.769−773.
- Green J.B., Kino G. S., Walher J.T., Shott J. D. Integrated surface acoustic wave/fild~effeet transistor high-speed analog memory. Appl. Phys. Lett., 1983, v. 42, N 12, p. 1015−1017.
- Elliot J.K., Gunshor R. L., Pierret R. F., Day A. R. A wideband SAW convolver utilizing Sezawa waves in the metal-ZnO-SiO^-Si configuration. Appl. Phys. Lett., 1978, v. 32, N9, p. 515−516.
- Bowers J.E., Khuri~Yakub B.T., Kino G.S. Monolithic Sezawa wave storage correlators and convolvers.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1980, p.118−123.
- Thornton R.L., Bowers J.E., Green J.B. Recent developments in the ZnO on Si storage correlator.- Proc. IEEE Ultrason. Symp. f 1981, p.774−779.
- Lo F. S., Gunshor R.L., Pierret R. F. Monolithic (ZnO) Sezawa-mode pn-diode~array memory correlator.- Appl. Phys. Lett., 1979, v. 34, N 11, p. 725−726.
- Green J.b., Khuri-Yakub В. T., Kino G. S. A new narrow beamwidth high-efficiency zinc oxide on silicon storage correlator.- J. Appl. Phys., 1981, v. 52, N 1, p. 505−506.
- Tuan H. C., Bowers J.E., Kino G. S. Theoretical and experimental results for monolithic SAW memory correlators.- IEEE Trans. Son. and Ultrason. 1980, v. SU~27, N 6, p. 360−369.
- Melloch M. R., Gunshor R. L., Liu C. L., Pierret R. F. Interface transduction in the ZnO-SiC^'Si surface acoustic wave device configuration.- Appl. Phys. Lett., 1980, v. 32, N2, p. 147−150.
- Шермергор Т.Д., Стрельцова H.H. Пленочные пьезоэлектрики.- М.: Радио и связь, 1986, 136 с.
- Hickernell F. S. The role of layered structures in surface acoustic wave technology.- Proc. Conf. Component perfomans andsystem application of SAW devices. 1973, p.11—21.
- Хикернелл Ф.С. Преобразователи поверхностных волн на тонких пленках окиси цинка.- ТИИЭР, 1976, т.64, N 5, с.70−76.
- Khuri-Yakub В. Т., Kino G.S., Galle P. Studies of the optimum condition for growth of rf-sputtered ZnO films.- J. Appl. Phys., 1975, v.46, N 8, p.3266−3272.
- Rozgonyi G. A., Polito W.J. Epitaxial thin films of ZnO on CdS and sapphire.- J. Vac. Sci. Tehnol. 1969, v. 6, N 1, p. 115−119.
- Fahmy A.H., Adler E.L. Structure and properties of rf-sputtered ZnO transducer.- IEEE Trans. Son. and Ultrason., 1972, v. SU-19, N 3, p.346−349.
- Колдрен Л.А. Характеристики устройств из окиси цинка на кремнии для обработки и хранения сигналов.- ТИИЭР, 1976, т.64, N 5, с.246−249.
- Hata Т., Noda Е., Morimoto 0. High rate deposition of piezoelectric zinc oxide films using new reactive sputtering techique.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1979, р.936~939.
- Webb J.В., Williams D.F., Buchanan M. Transparent and highly conductive films of ZnO prepared by rf reactive magnetronsputtering.- Appl. Phys. Lett., 1981, v.39, N 8, p. 640−642.
- Hickernell F.S., Brewer J.T. Surface-elastic-wave properties of deOtriode-sputtered zinc-oxide films.- Appl. Phys. Lett., 1972, v. 21, N 8, p.389−391.
- Larson I.D., Vinslow D.K., Littelly L.T. RF~diode sputtered ZnO transducers.- IEEE Trans. Son. and Ultrason., 1972, v. SU-19, N 1, p. 18−22.
- Barnes J.O., Leary D.J., Jordan A. G. Relationship between deposition conditions and physical properties of sputtered ZnO. -J. Electrochem. Sos., 1980, v. 127, N7, p. 1636−1640.
- Mitsuyu T., Ono S., Wasa K. Structures and SAW properties rf-sputtered singl~crystal films of ZnO on sapphire.- J. Appl. Phys., 1980, v. 51, N5, p. 2461−2470.
- Wasa K., Hayakawa S., Hada T. Excitation of shear mode elastic wave in co-sputtered ZnO films.- IEEE Trans. Son. and Ultrason., 1974, v. SU-21, N4, p. 298−299.
- Wasa K., Ohji K., Yamaza Ki.O., Hayakawa S. Surface wave transducer of ZnO films with controlled derection of c~axis.- J. J. Appl. Phys., 1974, suppl. 2, pt. 1, p. 745−747.
- Foster N. F. Crystallographiс orientation of zinc oxide film deposited by triode sputtering.- J. Vac. Sci Techno1., 1969, v. 6, N 1, p. 111−114.
- Hickernell F.S. Surface acoustic wave propagation loss in zinc oxide films.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1982, p.325−328.
- Боритко С.В., Лавренов А. А., Мансфельд Г. Д. Влияние внешних электрических полей на фазовую скорость ПАВ в монолитной структуре ZnO-Si.- Радиотехника и Электроника., 1990, т.35, N 5, с. 1090.
- Auld В. A. Acoustic field and waves in solides.- 1973, Inc., v. 2, 414 p.
- Пикус Г. Е. Основы теории полупроводниковых приборов.-М.:"Наука", 1965, 448 с.
- Нелинейные акустоэлектронные устройства и их применение./ Под. ред. Бондаренко B.C. М.: Радио и Связь, 1985, 160 с.
- Поверхностные акустические волны./ Под. ред. Олинера А. М.: Мир, 1982, 390 с.
- Maerfeld С. Raylaigh wave поп-linear components / Rayleigh wave theory and application. — Berlin: Springer-verlag, 1985, p. 191−218.
- Wang W. S., Das P. Surface wave convolver via space charge nonlinearity. Proc. Ultrason. Symp. 1972, p.316−321.
- Quate C. F., Thomson R. B. Convolution and correlation in real time with non-linear application.- Appl. Phys. Lett., 1970, v. 16, N 10, p. 494−496.
- Lukkala M., Kini G. S. Convolution and time inversion using parametric integration of acoustic surface wave.- Appl. Phys. Lett., 1972, v.18, N 9, p.393−394.
- Kino G. S., Ludvik S., Shaw H.J. et al. Signal processing by parametric interactions in delay-line devices.- IEEE Trans., 1973, v. MTT-21. N 4, p. 244−255.
- Monks Т., Paige E.G.S., Woods R. C. SAW convolvers using the transverse-horizontal bilinear field.- Electr. Lett., 1983, v. 19, p. 466−467.
- Maugin D. Nonlinear electromechanical effects and applications.-Hong-Kong: World Scientific, 1987.
- Коршак В.А., Лямоб B.E., Солодов И. Ю., Еленский В. Г. Нелинейные акустические устройства обработки сигнальной информации.- Зарубежная радиоэлектроника. 1981, N 1, с.50−77.
- Солай Л.Р. Новый режим работы конвольверов на поверхностных волнах.- ТИИЭР, 1976, т.64, N 5, с.234−238.
- Дефрануэль П.Х., Маерфельд С. Пленарный пьезоэлектрический конвольвер на поверхностных волнах.- ТИИЭР, 1976, т.64, N 5, с.218−222.
- Cho У., Yamonouchi К. Theoretical and experimental studies of LiNbOg degenerate acoustic elastic convolvers.- J. Appl. Phys., 1987, v.61, N 5, p.1728−1739.
- Malocha D. C. Elastic convolver with a modificied multistrip coupler compressor.- Proc. Ultrasonics Symp., 1981, p. 192−198.
- Nakagava Y., Makio S. Surface acoustic wave convolver using multiple waveguide.- Trans. Inst. Electronic and Commun. Engeneering Japan, 1986, v. J69, N A2, p. 190−198.
- Darby B.J., Gunton D.J., Lewis M.F. The design and performance of a small efficient SAW convolver.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1980, p.53−58.
- Coldren L.A., Schmidt R.V. Acoustic surface wave dV/V waveguides on anizotropic substrate.- Appl. Phys. Lett., 1973, v.22, N 10, p. 482−483.
- Hartman С. S., Bell D. Т., Rosenfeld R. S. Impulse model design of acoustic surface wave filter.- IEEE Trans., 1973, v. MTT-21, N 4.
- Slobodnik A.J.~ SAW filtres at UHF: design and analysis.- Air force Cambrige research laboratories, LZM-TR, 7 500 311, 1975.
- Trencrell R. H., Holland M. G. Acoustic surface wave filters.-Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1971, v.59, N3.
- Reddy A.R. Design of SAW bandpass filter using new window function.- IEEE Trans., 1988, v. UFFC~35, N 1.
- Херрис Ф.Дж. Использование окон при гармоническом анализе методом дисктетного преобразования Фурье.- ТШЭР, 1978, т.66, N 1.
- Ray М. К. A Rayleigh wave compressor using dV/V-type guidance.-IEEE Tranc., 1976, v. SU-23, N4, p. 276−279.
- Yao J. High performance elastic convolver with parabolic horns.~ Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1980, p.37−42,
- Davis K.L., Weller J. F. Elastic convolver using planar prism waveguide couplers. Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1980, p. 74−76.
- Vaerfeld C., Defranould P., Farnell G. W. Some applications of a nonsymmetrical multistrip coupler.- Proc. IEEE Ultraso. Symp., 1973, p. 155−158.
- Green J.В., Kino G. S., Khuri~Yakub В. T. Focused surface wave transdusers on anizotropic substrates: a theory developed for the waveguided storage correlator.- Proc. IEEE Ultrason. Symp., 1980, p. 69−73.
- Tancrell R. H. Analytie design of surface wave bandpass filters. Proc. Ultrasonics Symp. 1972, p.215−217.
- Tancrell R.H., Williamson R. C. Wave front distortion of acoustic surface waves from apodized a piezoelectric crystal. ~ Appl. Phys. Lett. 1971, v.19,
- Авторская заявка N 2 431 620 (ФРГ), МКИ: Н03К 9/00.
- Rosenfeld R.С. Capacitive weghted acoustic surface wave filters. USA patent N 3 904 969.
- Rosenfeld R. C. et al. Unidirectional acoustic surface wave filters with 2 dB insertion loss. IEEE Ultrason. Symp. 1974, p. 425−428.
- Андреев А.С., Багдасарян А. С., Гуляев Ю. В., Кмита A.M. Устройство на ПАВ. А.С. N 726 648 (МКИ: Н03Н 9/00), опубликовано БИ0 N 13, 1980.
- Никитин И.П. Расчет преобразователей с емкостным взвешиваниемэлектродов методом эквивалентных схем. Радиотехника и электроника. 1985, т.30, в.4, с.671−677.
- Булюк A.M., Кмита A.M., Марков И. А., Федорец В. Н. Преобразователь поверхностных акустических волн. А.С. N 2 821 084 от 27 марта 1980.
- Гуляев Ю.В., Кмита A.M., Багдасарян А. С. Преобразователь поверхностных акустических волн с емкостным взвешиванием электродов. Письма в ЖТФ. 1979, т.5, N 1, с.697−701.
- Smith W.R., Gerard Н. М., Jonrs W.R. Analysis and design of dispersive interdigital surface wave transducers. IEEE Trans, microwave Theory Tech. 1972, v. MTT-20, N H, p. 458−477.
- Соболь H.B., Долбин E.B., Кочемасов В. Н. Аналоговые фурье процессоры и их применение. Зарубежная радиоэлектроника. 1983, N 4, с.47−69.
- Каринский С.С. Устройства обработки сигналов на ультразвуковых поверхностных волнах. М.: Сов. радио, 1975, 176 с.
- Gunguly А. К., Davis К. Nonlinear interaction in degenerated surface acoustic wave elastic convolvers. J.Appl.Phys. 1980, v. 51, N 2, p. 920−926.
- Shreve M. R. Signal processing using surface acoustic waves. -IEEE Communications magazine. 1985, v.23, N 4, p.6−11.
- Hickernell F. S. ZnO processing for bulk and surface wave devices. Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1980, p. 785−794.
- Котелянский И.М., Федорец B.H. Свертка сигналов в структуре LiNb03-CdSe. Письма в ЖТФ. 1978, т.5, N 1, с.56−57.
- Onishi S., Eschwei М., El~Asiz В., Vang V.Ch. Enchancement of a thin film indium antimonide on lithium niobat convolver output by transverse biasing. J.Appl.Phys. 1893, v. 22, N 5, p. L273-L274.
- Vu Z.S., Onishi S., Chen K. S. Monolithic thin film semiconductor acoustoelectric convolver. Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1981, p.243−247.
- Башкиров A.M., Гаврилин B.H., Гуляев A.M., Белый С. Ф. Влияние продольного и поперечного электрического поля на эффект конволюции ПАВ в тонкопленочной монолитной структуре. Письма в ЖТФ. 1984, т.10, N 9, с.544−547.
- Ocrwaldowski М. The magnetic fild dependence of the РЕМ effect in melt-grown InSb thin layers. J. Phys. Chem.Solids. 1979, v. 40, N 9, p. 675−681.
- Соловьев А.И., Зевенс Т. А., Толомасов В. А. Получение слоистых структур LiNb03 inSb. — В кн.: Синтез и рост совершенных кристаллов и пленок полупроводников. Новосибирск, Наука, 1981, с.59−62.
- Палатник Л.С., Ейикин В. Я., Федоренко А. И. Пленка InSb с высокой подвижностью носителей заряда. Неорг. материалы. 1976, т.12, N 6, с.1008−1010.
- Петросян В.И., Веселов А. Г., Синицин Н. И. и др. Тонкие пленки InSb для акустоэлектроники. Микроэлектроника. 1979, т.8, N 6, с.539−545.
- Котелянский И.М., Крикунов А. И., Медведь А. В. и др. 0 роли защитных слоев в технологии изготовления акустоэлектронного усилителя на основе LiNb03-lnSb. Микроэлектроника. 1977, т.6, N 1, с.88−90.
- Гуляев Ю.В. Акустоэлектронные устройства для систем связи и обработки информации. в кн.: Проблемы современной радиотехники и электроники. Под ред. Котельникова В. А. М.: Наука, 1980, с.297−319.
- Морозов А.И., Проклов В. В., Станковский Б. А. Пьезоэлектрические преобразователи для радиоэлектронных устройств.-М.: Радио и связь, 1981, 165 с.
- Гуляев Ю.В., Мансфельд Г. Д., Орлова Г. А., Воритко C.B., Миргородская E.H., Крикунов А. И. Акустоинжекционный транзистор -новый тип управляемого акустоэлектронного преобразователя.- Письма в ЖТФ, 1981, т.7, N 7, с.339−343.
- Kino G.S., Reeder T.M. A normal mode theory for Reilegh wave amplifier.- IEEE Trans. 1977, v. ED~18, N 10, p. 909−920.
- Parmenter R. H. The acousto-electric effect.- Phys. Rev., 1953, v. 89, N 5, p. 996−998.
- Weinreich G. Acoustodynamic effect in semiconductors.- Phys. Rev., 1956, v. 104, N2, p. 321−324.
- Гуревич В.JI., Эфрос A.JI. К теории акустоэлектрического эффекта.- ЖЭТФ, 1963, т.14, N6, с.2131−2141.
- Сандомирский В.В., Коган Ш. М. Акустоэлектрические эффекты впьезоэлектрических полупроводниках.- ФТТ, 1963, т. 5″ N 7, с.1894−1899.
- Butcher Р. N., Ogg N. R. А поп linear theory of acoustoelectric gain and current in piezoelectric semiconductors. Brit. J. Appl. Phys. (J.Phys. D.), 1968, ser. 2, v. 1, p. 1271−1275.
- Proclov V.V., Gulyaev Yu. V., Horozov A.I. On some acoustoelectric phenomena in piezosemiconductors at lage sound intensities. Phys. Stat. Sol. (a), 1972, v. 12, N 1, p. Kl~K4.
- Лямов B.E. Акустоэлектрический эффект в монокристаллах пьезополупроводников.- В кн." Некоторые вопросы взаимодействия ультразвуковых волн с электронами проводимости в кристаллах", М., Б.И., 1965, с.77−94.
- Vang V.S. Strong acoustoelectric effect in CdS. -Phys.Rev. Lett., 1962, v.9, N 11, p.443−445.
- Морозов А.И. Исследование акустоэлектрического эффекта в кристаллах сульфида кадмия.- ФТТ, 1965, т.7, N 10, с.3070−3078.
- Пустовойт В.И., Байбаков В. И., Падо Г. С. Акустоэлектрический эффект в CdSe в режиме непрерывного усиления ультразвука потоком электронов.- ДАН СССР, 1967, т.174, N 4, с.791−794.
- Королюк А.П., Рой В.Ф. Акустоэлектрический эффект в теллуре.-ФТТ, 1972, т.14, N 1, с.260−262.
- Beale J.R. А., Pomerantz М. Acoustoelectric effect of microwave phonons in GaAs.- Phys. Rev. Lett., 1964, v. 13, N6, p. 148−200.
- Гуляев Ю.В., Карабанов А. Ю., Кмита A.M., Медведь А. В., Туреунов Ш. С. К теории электронного поглощения и усиления поверхностных звуковых волн в пьезокристаллах.- ФТТ, 1970, т. 12, N 9, с.2595−2601.
- Булах Г. И., Кучеров И. Я., Островский В. И. Генерация второй гармоники поперечной волной в пьезополупроводниковой пластине.-ФТТ, 1976, т.18, N 9, с.2840−2843.
- Ostrovski I.V., Bulakh G.I. Second harmonic of the acoustoelectric current in piezosemiconductors. Phys.Stat.Sol. (a), 1980, v. 59, N 1, p. 83−89.
- Гуляев Ю.В., Кмита A.M., Медведь А. В., Плесский В. П., Шибанова Н. Н., Федорец В. Н. Исследование нелинейных акустоэлектрических эффектов и акустопроводимости в слоистой структуре LiNb03-si.- ФТТ, 1975, т.17, N 12, с.3505−3515.
- Кмита A.M., Медведь А. В. Акустоэлектрический эффект в слоистойструктуре пьезоэлектрик-полупроводник, — ФТТ, 1972, т.14, N 9, с.2646−2655.
- Серейка А.П., Гаршка Э. П., Милькявиченс З. А., Юцис А. И. Акустоэлектрический эффект в слоистой структуре пьезоэлектрик -металлическая пленка.- ФТТ, 1974, т.16, с.2455−2456.
- Morita S., Tsubuchi К., Micohiba N. Convolution and acoustoeleotric effect by elestic surface waves in coupled semiconductor piezoelectric system.- Jap. J. Appl. Phys., 1976, v. 5, N 6, p. 1019−1028.
- Бондаренко С.В., Балакирев М. К. Основы акустоэлектроникм, ч.11.- Новосибирск, 1968, с.9−15.
- Гоноровский И.С. Радиотехнические цепи и сигналы.- М.: Сов. Радио, 1977, 607 с.
- Т. М. Reeder, D. К. Winslow. IEEE Trans. 1969, v. MTT-17, p. 927.
- Ochi, Koji, at al. Gas generator composition. US Patent N 5 482 579.
- Sedat, Georges A. Smoke-produsing pyrotechnic composition and its application. US Patent N 4 366 010.
- А.И.Китайгородский. Молекулярные кристаллы. М.:Наука. 1971.
- Дорожкин Л.М., Дорошенко B.C., Красилов Ю. М., Кузнецов Н. Т., Мурашов Д. А., Розанов И.А.- Журнал Аналитической Химии. 1995. т.50. п. 9. с. 979.
- Dorojkine L.M., Volkov V.V., Doroshenco V. S., Lavrenov A. A., Mourashov D. A., Rozanov I. A.- Sensors and Actuators. 1997. v. B44. p. 488.
- Горюнов А.В., Дорошенко B.C., Дорожкин Л. М., Локтев O.A., Магомедов З. А., Погибелъский А. П., Польских Э. Д., Пустовойт В. И., Чаянов Б. А. Пленочный пьезопреобразователь продольных акустических волн.- А.С. N1568829, приоритет от 04.07.1988.
- Белый С.Ф., Вашкиров A.M., Гаврилин В. И., Гуляев A.M., Лавренов А. А. Монолитные акустоэлектронные устройства на основе структуры LiNbOg пленка inSb. — Известия вузов. Сер. Радиоэлектроника. Киев 1988. с.56−62.
- Белый С.Ф., Башкиров A.M., Гаврилин В. И., Гуляев A.M. и др. Свертка сигналов в монолитной структуре LiNbOg- InSb. Тр. Моск. энерг. ин-та. 1983, N22, с.117−123.
- Гаврилин В.И., Гуляев A.M., Башкиров A.M., Белый С. Ф. и др. Температурные характеристики приборов для обработки радиосигналов на поверхностных акустических волнах. Тр. Моск. энерг. ин-та. 1981, вып.536, с.100−105.
- Публикации по теме диссертации.
- А1.Боритко С. В., Лавренов А. А., Мансфельд Г. Д. Влияние внешних электрических полей на фазовую скорость ПАВ в монолитной структуре ZnO-Si. Радиотехника и электроника. 1990, т.35, N 5, с. 1090.
- А2.Боритко С. В., Лавренов А. А., Мансфельд Г. Д. Влияние внешних электрических полей на фазовую скорость ПАВ в монолитной структуре ZnO-Si. Материалы конференции «Акустоэлектронные устройства обработки информации на ПАВ», Черкассы 1990, с. 64.
- АЗ.Боритко С. В., Лавренов А. А., Мансфельд Г. Д. Влияние поперечного электрического поля на распространение ПАВ в монолитной структуре на основе кремния. Радиотехника и электроника. 1991, т.36, N 4, с. 835.
- А5.Боритко С. В., Лавренов А. А., Нисафи A.M. ПАВ-конвольверы для широкополосных систем связи. Тезисы докладов XYI Всероссийской конференции по акустоэлектронике и физической акустике твердого тела. Сыктывкар, Секнтябрь 1994 г., с. 125.
- Аб. Боритко С. В., Лавренов А. А. Вторичные эффекты в волноводных конвольверах на ПАВ. Радиотехника и электроника. 1994, т.39, N 12, с. 2065.
- A8.C.B.Боритко, В. И. Григорьевский, А. М. Кмита, A.M.Нисафи.
- Исследование возможности использования ВШП с емкостным взвешиванием электродов для создания широкополосных ПАВ-кон-вольверов. Письма в ЖТФ, 1996, т.22, N 19, с. 24.
- A9.S. V. Boritko, V.I. Grigorievskii, A.M.Kmita. Broadband SAW-convolver, using dispersiv IDTs with capacitive weighting.- IEEE Symp., 1996, p.77.
- A10. Боритко С. В., Мансфельд Г. Д., Гаврилин В.И.
- Высокочастотный поперечно-планарный конвольвер с пониженным напряжением питания. Материалы конференции «Акустоэлектронные устройства обработки информации», Черкасссы 1988, с. 320.
- A13. Боритко С. В., Мансфельд Г. Д., Веретин B.C., Лавренов А. А., Нагирняк В. Н. Акустоелектронный конвольвер на основе слоистой структуры пьезоэлектрик-полупроводниковая пленка. Радиотехника и электроника. 1989, т. 34-, N 7, с. 1553.
- А15.Боритко C.B., Мансфельд Г. Д., Мевлют Ш. Т., Нисафи A.M. Исследование планарно-поперечных ПАВ-конвольверов на основе тонкопленочной слоистой структуры пьезоэлектрик-полупровод-ник. Радиотехника и электроника. 1996 г., т.41, N11, с. 1406.
- А16.С. В. Боритко, Ю. В. Гуляев, Г. Д. Мансфельд. Использование акустоэлектрического эффекта для демодуляции радиосигналов. Материалы XII Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике. Саратов, 1983, с. 187.
- А17.С. В. Боритко, Ю. В. Гуляев, Г. Д. Мансфельд. Особенности детектирования радиосигналов с помощью акустоэлектрического эффекта. Радиотехника и электроника. 1984, т.29, в.6, с. 1179.
- А18.С. В. Боритко, Г. Д. Мансфельд, В. Н. Нагирняк. Электроакустическое преобразование в слоистых структурах с периодической системой омических контактов. Письма в ЗКТФ, 1986, т. 12, в.10, с. 604.
- А19.С. В. Боритко, Г. Д. Мансфельд, В. Н. Нагирняк. Электроакустическое преобразование в слоистой структуре с периодическими контактами. Материалы XIII Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике. Черновцы, 1986, с. 166.
- A20.S.V. Boritko, Yu.V. Gulyaev, G.D.Mansfel' d. Nonstationary acoustoelectric effect and SAV demodulation. Proceedings of the international symposium «Surfase waves in solids and layered structures», Novosibirsk, 1986, v.2, p. 137.
- А21.С. В. Боритко. Демодулятор радиосигналов. A.С. К 1 337 993 от 15 мая 1987 г.
- А22.С. В. Боритко. Линия задержки на поверхностных акустических волнах. АС N 1 627 049 от 8 октября 1990 г.
- S.V. Boritko, L. M. Dorojkine, V.S.Doroshenko, A. A. Lavrenov, I.A.Rozanov. Thin-film piezoelectric acoustic sensor to the detection of hydrocarbons. 9th International Fair and Conference «SENSOR-99». May 18−20, 1999, Nuranberg, Germany
- A25. С. Г. Алексеев, С. В. Боритко, Л. М. Дорожкин, Г. Д. Мансфельд. Резонансный характер чувствительности газоаналитических химических сенсоров на основе составного акустического резонатора.- Письма в ЖТФ, 1999, т.25, в. 14, с. 76.
- А2 6. Л. М. Дорожкин, С. В. Боритко, А. В. Фокин, Г. Н. Дорожкина, И. А. Розанов. Резонансный характер чувствительности акустоволновых химических газовых сенсоров.- Журнал аналитической химии. 2000, т.55, N 2, е.133.
- А27. С. В. Боритко, А. А. Лавренов, Л.М.Дорожкин-, И. А. Розанов. Сенсор для газового анализа на основе составного акустического резонатора. Тезисы докладов Всеросийской конференции «СЕНС0Р-2000», Санкт-Петербург, 21−21 июня