Электрические и газочувствительные характеристики полупроводниковых сенсоров на основе тонких пленок SnO2
Диссертация
В связи с этим актуальной задачей является разработка миниатюрных химических сенсоров на основе металлооксидных полупроводников БпОг, 1П2О3, ТЮ2, W03 и др., отличающихся низким энергопотреблением, высоким быстродействием, дешевизной. Наиболее широко используется диоксид олова, отличающийся высокой химической устойчивостью. Принцип действия таких сенсоров основан на том, что обратимая хемосорбция… Читать ещё >
Содержание
- Глава 1. Физико-химические основы работы полупроводниковых газовых сенсоров и методы их получения (обзор литературы)
- 1. 1. Механизмы адсорбционного отклика сенсоров на основе металлооксидных полупроводников на воздействие газовоздушных смесей
- 1. 1. 1. Хемосорбционное искривление энергетических зон полупроводника
- 1. 1. 2. Типы полупроводниковых адсорбентов
- 1. 1. 3. Механизмы электропроводности и адсорбционного отклика тонких пленок диоксида олова
- 1. 1. 3. 1. Двухканальная модель проводимости
- 1. 1. 3. 2. Физико-химические процессы на поверхности Sn02 при воздействии восстановительных газов
- 1. 1. 3. 3. Адсорбционный отклик сопротивления (проводимости) тонких пленок диоксида олова при воздействии восстановительных газов
- 1. 1. 3. 4. Кинетика формирования отклика
- 1. 1. Механизмы адсорбционного отклика сенсоров на основе металлооксидных полупроводников на воздействие газовоздушных смесей
- 1. 2. Требования, предъявляемые к полупроводниковым газовым сенсорам, и способы их обеспечения
- 1. 2. 1. Селективность по отношению к различным газам
- 1. 2. 1. 1. Роль нанесенных катализаторов
- 1. 2. 1. 2. Влияние примесей в объеме диоксида олова на свойства сенсоров
- 1. 2. 2. Стабильность параметров сенсоров при эксплуатации в реальных условиях
- 1. 2. 2. 1. Влияние влажности на сопротивление и адсорбционный отклик сенсоров
- 1. 2. 2. 2. Механизмы деградации сенсоров при долговременных испытаниях
- 1. 2. 2. 3. Использование режима термоциклирования и мультисенсорных систем для повышения селективности и стабильности параметров сенсоров
- 1. 2. 1. Селективность по отношению к различным газам
Список литературы
- Ф.Ф. Волькенштейн. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции. М.: Наука, 1987. — 432 с.
- И.А. Мясников, В .я. Сухарев, Л. Ю. Куприянов. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях. М.: Наука, 1991.-327 с.
- J.F. McAleer, Р.Т. Moseley. Tin dioxide gas sensors. // J. Chem. Soc. Faraday Trans. 1987. — V. 83. — P.1323 — 1346.
- G. Heiland, D. Kohl. Physical and chemical aspects of oxidic semiconductor gas sensors. // Chemical Sensor Technology. / Ed. T. Seiyama. Kodansha/ Elsevier, Tokyo/ Amsterdam. — 1988. V. 1. — P. 15−38.
- H.W. Windischmann, P. Mark. A model for the operation of a thin-film Sn02 conductance-modulation carbon monoxide sensors. // J. Electrochemical Soc. -1979.-V. 126.-P. 627−633.
- O.B. Крылов, В. Ф. Киселев. Адсорбция и катализ на переходных металлах и их оксидах. М.: Химия, 1981. — 288 с.
- А.А. Дулов, JI.A. Абрамова. Возможности метода электропроводности в исследованиях катализаторов. // Итоги науки и техники. Кинетика и катализ. М.: ВИНИТИ. — 1984. Т. 12.- С. 144 — 194.
- Thick film ZnO resistive gas sensors. / S. Pizzini, N. Butta, D. Narducci, M. Palladino. // J. Electrochemical Soc. 1989. — V. 136, № 7.- P. 1945−1948.
- M. Ippomatsu, H. Sasaki, H. Yanagida. Sensing mechanism of Sn02 gas sensor. // J. Materials Sci. 1990. V. 25.- P. 259−262.
- V. Lantto, P. Romppainen. Electrical studies on the reaction of CO with different oxygen species on Sn02 surfaces. // Surface Sci. 1987. — V.192.- P. 243−264.
- D.E. Williams. Semiconducting oxides as gas-sensitive resistors. // Sensors and Actuators. 1983. V. 4. — P. 613−620.
- E. Bornand. Influence of the annealing temperature of non-doped sintered tin dioxide sensors on their sensitivity and response time to carbon monoxide. // Sensors and Actuators В.-1991.- V.3.- P. 7−14.
- N. Barsan, U. Weimar. Conduction model of metal oxide gas sensors. // J. Electroceramics.- 2001. -V. 7. P. 143−167.
- N. Barsan, M. Schweizer-Berberich, W. Gopel. Fundamental and practical aspects in the design of nano-scale Sn02 gas sensors. // Fres. J. Anal. Chem. -1999.-V. 356.-P. 287−304.
- The effects of thickness and operation temperature on ZnO: Al thin film CO gas sensor. / J.F. Chang, H.H. Kuo, I.C.Leu et al. // Sensors and Actuators B. -2002.-V. 84.- P. 258−264.
- Sensitine, selective and stable tin dioxide thin-films for carbon monoxide and hydrogen sensing in integrated gas sensor array applications. / R.K. Sharma, P.C.H. Chan, Z. Tang et al. // Sensors and Actuators B. 2001. V. 72.- P. 160 166.
- Ruthenium: tin oxide thin film as a highly selective hydrocarbon sensor. / R.S. Niranjan, S.R. Sainkar, K. Vijayamohanan et al. // Sensors and Actuators B. -2002.-V. 82.-P. 82−88.
- V.V. Kissin, V.V. Sysoev, S.A. Vroshilov. Conductivity of Sn02 thin films in the presence of surface adsorbed species. // Sensors and Actuators B. 2001. -V. 79.-P. 163−170.
- On the role of catalytic additives in gas-sensitivity of Sn02-Mo based thin film sensors. / M. Ivanovskaya, P. Bogdanov, G. Faglia et al. // Sensors and Actuators B. 2001. — V. 77. — P. 268−274.
- V. Lantto, T.T. Rantala, T.S. Rantala. Atomistic understanding of semiconductor gas sensor. // J. Eur. Ceram. Soc. 2001. — V. 21. — P. 19 611 975.
- D.H. Kim, S.H. Lee, K.H. Kim. Comparison of СО-gas sensing characteristics between mono- and multi-layer Pt/Sn02 thin films. // Sensors and Actuators B. 2001. V. 77. — P. 427−431.
- A novel gas sensor based on Sn02/0s thin film for the detection of methane at low temperature. / F. Quaranta, R. Rella, P. Siciliano et al. Sensors and Actuators B. -1999. -V. 58. P. 350−355.
- A.A. Дулов, Jl.A. Абрамова. Возможности метода электропроводности в исследованиях катализаторов. // Итоги науки и техники. Кинетика и катализ. М. ВИНИТИ. — 1984. — Т. 12. — С. 144−194.
- Grain size effects on gas sensitivity of porous Sn02-based elements. / C. Xu, J. Tamaki, N. Miura et al. // Sensors and Actuators B. 1991. V. 3.- P. 147 155.
- Газовые сенсоры на основе тонких пленок диоксида олова: Метод, пособие / Сост. В.И. Гаман- Том. гос. ун-т. Томск, 2002. — 15 с.
- Thickness dependence of Н2 gas sensor in amorphous SnOx films prepared by ion-beam sputtering. / T. Suzuki, T. Yamazaki, H. Yoshioka et al. // J. Mater. Sci.-1988.-V. 23.-P. 145−149.
- Nature of sensitivity promotion in Pd-loaded Sn02 gas sensor. / C. Xu, J. Tamaki, N. Miura et al. // J. Electrochem. Soc. 1996. — V. 143. — P. LI48.
- Y.S. Choe. New gas sensing mechanism for Sn02 thin-film gas sensor fabricated by using dual ion beam sputtering. // Sensors and Actuators B. 2001. V. 77.-P. 200−208.
- Theory of gas-diffusion controlled sensitivity for thin film semiconductor gas sensor. / G. Sakai, N. Matsunaga, K. Shimanoe et al. // Sensors and Actuators B. -2001.-V. 77.-P. 125−131.
- Gas sensing properties of thin- and thick-film tin-oxide materials. / Th. Becker, S. Ahlers, Chr. Bosch-v.Braunmuhl et al. // Sensors and Actuators B. -2001.-V. 77.-P. 55−61.
- N. Yamasoe, N. Miura. Some basic aspects of semiconductor gas sensors. // Chemical Sensor Technology. / Ed. S.Yamauchi. Kodansha/ Tokyo. — 1992. -V. 4.-P. 20−41.
- D.E. Williams, E.E. Pratt. Microstructure effects of the response of gas-sensitive resistors based on semiconducting oxides. // Sensors and Actuators B.- 2000. V. 70. P. 214−221.
- Factors affecting the performance of Sn02 as a gas sensors. / J.F. Mc Aleer, P.T. Moseley, B.C. Tofield et al. // Proc. Br. Ceram. Soc. 1985. — V. 36. — P. 89−106.
- V. Brynzari, G. Korotchenkov, S. Dmitriev. Simulation of thin film gas sensors kinetics. // Sensors and Actuators B. 1999. — V. 61. — P. 143−153.
- Kinetics of gas response to reducing gases of Sn02 films, deposited by spray pyrolysis./ G. Korotchenkov, V. Brynzari, V Golovanov et al. // Sensors and Actuators B. 2004. — V. 98. — P. 41−45.
- Study on sensing properties of thin oxide CO gas sensor with low power consumption. / K.R. Han, C.S. Kim, K.T. Kang et al. // Sensors and Actuators B.- 2002.-V. 81.- P. 182−186.
- Rhythmic chemical reaction of CO on the surface of a Sn02 gas sensor. / S. Nakata, Y. Kato, Y. Kaneda et al. // Appl. Surface Sci. 1996. — V. 103.- P. 369−376.
- G. Ertl. Oscillatory kinetics and spatiotemporal self-organization in reaction at solid-surfaces. // Science. -1991. -V. 254. P. 1750−1755.
- S. Y. Yamamoto, C.M. Surko, M.B. Maple. Spatial coupling in heterogeneous catalysis. // J. Chem. Phys. 1995. — V. 103. — P. 8209−8215.
- M. Batzill, U. Diebold. The surface and materials science of tin oxide. / Progress in Surf. Sci. 2005. — V. 79.- P. 47−154.
- Schottky-barrier and conductivity gas sensors based upon Pd/Sn02 and Pt/ Sn02. / K.D. Schierboum, U. Weimar, W. Gopel et al. // Sensors and Actuators В. -1991. V.4.-P. 87−91.
- G. Zhang, M. Liu. Effect of particle size and dopant on properties of Sn02 based gas sensors. // Sensors and Actuators B. 2000. — V. 69. — P. 144−151.
- Interaction of Pd-overlayers with Sn02: comperative XPS, SIMS and SNMS studies. / J.F. Geiger, P. Beckmann, K.D. Schierboum et al. // Fres. J. Anal. Chem.-1991.-V. 341.- P. 25−29.
- S. R. Morrison. Selectivity in semiconductor gas sensors. // Sensors and Actuators. 1987. -V. 12.- P. 425−440.
- D.S. Vlachos, C.A. Papandopoulos, J.N. Avaritsiotis. On the electronic interaction between additives and semiconducting oxide gas sensors. // Appl. Phys. Lett. 1996. -V. 69, № 5, — P. 650−652.
- N. Yamazoe, Y. Kurokava, T. Seiyama. Effect of additives on semiconductor gas sensors. // Sensors and Actuators. 1983. — V. 4. — P. 283−295.
- D.D. Lee, W.Y. Chung. Gas-sensing characteristics of Sn02. x thin film with added Pt fabricated by the dipping method. // Sensors and Actuators. 1989. -V. 20.- P. 301−305.
- Взаимодействие металлических наночастиц с полупроводником в поверхностно-легированных газовых сенсорах. / С. В. Рябцев, Е. А. Тутов, Е. Н. Бормонтов и др. // ФТП. -2001. Т. 35, № 7. — С. 1814−1819.
- Surface chemistry of tin oxide based gas sensor. / G. Gaggiotti, A. Galdikas, S. Kaciulis et al. // J. Appl. Phys. 1994. — V. 76, № 8. — P. 4467−4471.
- The influence of a platinum membrane on the semsing properties of a tin dioxide thin film. / P. Montmeat, C. Pijolat, G. Tournier et al. // Sensors and Actuators B. 2002. — V. 84. — P. 148−159.
- The influence of the tin-oxide deposition technique on the sensitivity to CO. / M.C. Horrillo, J. Gutierrez, I. Ares et al. // Sensors and Actuators В 1995. — V. 24−25.-P. 507−511.
- Sn02 thin films for gas sensor prepared by r.f. reactive sputtering. / M. Di Giulio, G Micocci, A. Serra et al. // Sensors and Actuators B. 1995. — V. 2425. — P. 465−468.
- The roles of surface states and catalysts in the function of tin dioxide gas sensor. / J.F. McAleer, P.T. Moseley, J.O.W. Norris et al. // Proc. Of the 2nd int. meeting on chemical sensors.- Bordeaux.- 1986. P. 264−267.
- Синтез газочувствительных пленок Sn02 с добавкой Pt для детектирования СО при комнатной температуре. / А. В. Тадеев, Я. А. Угай, М. Лабо и др. // Неорг. Материалы. 1999. — 35, № 4. — С. 464−470.
- С. A. Papandopoulos, J.N. Avaritsiotis. A model for the gas sensing properties of tin oxide thin films with surface catalysts. // Sensors and Actuators B. 1995. -V.28.-P. 201−210.
- CO-CH4 selectivity enhancement by in situ Pd-catalysed microwave Sn02 nanoparticles for gas detectors using active filter. / A. Cirera, A. Cabot, A. Cornet et al. // Sensors and Actuators B. 2001. — V. 78. — P. 151 -160.
- Influence of the catalytic introduction procedure on the nano- Sn02 gas sensor performances. Where and how stay the catalytic atoms? / A. Cabot, A. Dieguez, A. Romano-Rodriguez et al. // Sensors and Actuators B. 2001. — V. 79.- P. 98 106.
- A. Cabot, A. Vila, J.R. Morante. Analysis of the catalytic activity and electrical characteristics of different modified Sn02 layers for gas sensor. // Sensors and Actuators B. 2002. — V. 84. — P. 12−20.
- Analysis of the noble metal catalytic additives introduced by impregnation of as obtained Sn02 sol-gel nanocrystals for gas sensors. / A. Cabot, J. Arbiol, J.R. Morante et al. // Sensors and Actuators B. 2000. — V. 70. — P. 87−100.
- Spillover effects in the detection of H2 and CH4 by sputtered Sn02 films with Pd and PdO deposition. R. Huck, U. Bottger, D. Kohl et al. // Sensors and Actuators B. 1989. — V. 83. — P. 355−359.
- Исследование механизмов сенсибилизации допированных газовых сенсров. / С. В. Рябцев, Е. А. Тутов, А. Н. Лукин и др. Сенсор.- 2001. № 1. -С. 26−30.
- В. Stjerna, Е. Olsson, C.G. Granqvist. Optical and electrical properties of radio frequency sputtered tin oxide films doped with oxygen vacancies. // J. Appl. Phys. 1994. — V. 76. — P. 3797−3801.
- A. V. Chadwick. EXAFS studies of dopant sites in metal oxides. // Solid State Lon. 1993. -V. 63−65. — P. 721−726.
- Study of surfaces segregation of antimony on Sn02 surfaces by computer simulation techniques. / B. Slater, C.R. Catlou, D.H.Gay et al. J. Chem. Phys. B.- 1999. V. 103. — P. 10 644- 10 650.
- V. Dusastre, D.E. Williams. Sb (III) as active sites for water adsorption on Sn (Sb)02, and its effect on catalytic activity and sensor behabior. // J. Chem. Phys. В.- 1998. -V. 102.- P. 6732−6736.
- Dopand atom distribution and spatial confinement of conduction electrons in Sb- doped Sn02 nanoparticles. / C. Mc Ginley, H. Borchert, M. Pflughoeft et al.- Phys. Rev. В.- 2001. -V. 64. P. 245 312−245 317.
- Observation of conduction electrons in Sb implanted Sn02 by ultraviolet photoemission spectroscopy. / C. S. Rastomjee, R.G. Egdell, M.J. Lee et al. // Surf. Sci. Lett. — 1991. -V. 259. — P. L769- L773.
- P.А. Лемберанский, И. Б. Анненкова, З. А. Бахшиева. Успехи химии. Т. 61 (1992) С. 124−138.
- Адсорбционный сенсор паров этилового спирта на основе порошков легированного диоксида олова. / Е. В. Дышель, Л. Э. Еремина, Н. П. Максимович и др. // Порошковая металлургия. 1989. — № 3. — С. 95−98.
- Хенда и др. Методы детектирования моноокиси углерода. Пат. США. МКИ. G01 № 27/04 Н. 01 В 1981.
- L.N. Yannopoulos. Antimony-doped stannic oxide-based thick-film gas sensors. // Sensors and Actuators. 1987. V. 12. — P. 77−89.
- S.- D. Choi, D.-D. Lee. CH4 sensing characteristics of K-, Ca-, Mg-impregnated Sn02 sensors. // Sensors and Actuators B. 2001. — V. 77. — P. 335−338.
- G. Sberveglieri. Bismuth-doped tin-film gas sensor. // Sensors and Actuators B. 1995.-V.23.-P. 103−109.
- Metal oxide semiconductor N02 sensor for medical use. / E. Kanazava, G. Sakai, K. Shimanoe et al. // Sensors and Actuators B. 1991. — V. 77. — P. 7277.
- Effect of alumina addition on methan sensitivity of tin dioxide thick films. / M. Saha, A. Banerjee, A.K. Haider et al. // Sensors and Actuators B. 2001. V. 79. -P. 192−195.
- L. de Angelis, R. Riva. Selectivity and stability of a tin dioxide sensor for methan. // Sensors and Actuators B. 1995. -V. 28. — P.25−29.
- J.H. Yu, G.M. Choi. Selective CO gas detection of CuO- and ZnO-doped Sn02 gas sensor. // Sensors and Actuators B. 2001. -V. 75. — P. 56−61.
- M. Nitta, M. Haradome. CO gas detection by Th02-doped Sn02. // J. Electron. Materials. 1979. -V. 8, № 5. — P. 571−580.
- G. Sberveglieri, S. Gropelli, P. Nelli. Bismuth-doped tin-film gas sensor. // Sensors and Actuators B. 1995.-V. 23.-P. 103−109.
- S.S. Sharma, K. Nomura, Y. Ujhira. Mossbauer studes on tin-bismuth oxide CO selective gas sensor. // J. Appl. Phys. 1992. — V. 71, № 4. — P. 2000−2005.
- G.S.V. Coles, D.E. Williams, B. Smith. Selectivity studies on tin oxide-based semiconductor gas sensors. // Sensors and Actuators В.-1991.- V.3.- P. 7−14.
- V.V. Golovanov. Proc. of 5th National Conf. on Sensors and Microsystems, Lecce, Italy, Feb., 12−15,2000. P. 235−238.
- СО-water interaction with Sn02 gas sensors: role of orientation effects. / V. Golovanov, G. Korotchenkov, V. Brinzari et al. // Proc. of XVI European Conf. on Solid-State Transducers. September 15−18. 2002. Prague. 2002. — P. 926 929.
- Moisture effects on pure and Pd-doped Sn02 thick films analysed by FTIR spectroscopy and conductance measurements. / G. Ghiotti, A. Chiorino, G. Martinelli et al. // Sensors and Actuators B. 1995. — V. 24−25. — P. 520−524.
- D.S. Vlachos, P.D. Skafidas, J.N. Avaritsiotis. The effect of humidity on tin-oxide thick-film gas sensors in the presence of reducing and combustible gases. // Sensors and Actuators B. 1995. — V. 24−25. — P. 491−494.
- C. Pijolat, R. Lalauze. Influence of adsorbed hydroxyl species on the electrical conductance of Sn02. // Sensors and Actuators. 1988. — V. 14. — P. 27−33.
- Oxygen and water interaction at the surface of Sn02 based sensors. / S.H. Hahn, N. Barsan, U. Weimar et al. // Proc. the 16 European conference on solid-state transducers. Septemberl5−18.2002. Prague. 2002. — P.952−955.
- Figaro: датчики газов.-М.: Изд. дом «Додэка-XXI», 2002. -вып.ЗО. 64 с.
- Moisture influence and geometry effect of Au and Pt electrodes on CO sensing response of Sn02 microsensors based on sol-gel thin film. / S. Capone, P. Siciliano, F. Quaranta et al. // Sensors and Actuators. 2001. — V. 77. — P. 503−511.
- H. Torvela, A. Harkoma, S. Leppavuori. Detection of the concentration of CO using Sn02 gas sensors in combustion gases of different fuels. // Sensors and Actuators. 1989. -V. 17. — P.369−375.
- D.D. Lee, В.К. Sohn. CO sensitive Sn02/Pt thick film. // Proc. Of the 2nd int. meeting on chemical sensors.- Bordeaux.- 1986, — P. 222−225.
- H.M. Попова. Влияние нанесения и структуры металлов на адсорбцию газов. М: Наука.-1980.131 с.
- Газочувствительные датчики на основе металлоокисных полупроводников. / А. И. Бутурлин, Т. А. Габузян, Н. А. Голованов и др. // Зарубежная электронная техника. 1983. — № 10. — С. 3−37.
- W.M. Sear, К. Colbow, F. Consadori. Algorithms to improve the selectivity of thermally cycled tin oxide gas sensors. // Sensor and Actuators B. — 1989. -V. 16.-P. 333−349.
- New application of tin oxide gas sensors. II. Intelligent sensor system for reliable monitoring of ammonia leakages. / A. Jerger, H Kohler, F. Becker et al. // Sensor and Actuators B. 2002. — V. 81. -P. 301−307.
- New application of tin oxide gas sensors. I. Molecular identification by cyclic variation of the working temperature and numerical analysis of the signals. / H. Kohler, J. Rober, N. Link et al. // Sensor and Actuators B. 1999. -V.61.-P. 163−169.
- Improvement of concentration estimation algorithm for inflammable gases utilizing fuzzy rule — based neural networks. / B. Yea, T. Osaki, K. Sugahara et al. // Sensor and Actuators B. — 1999. — V. 56. — P. 181−188.
- L. Gajdosik. The concentration measurement with Sn02 gas sensor operated in the dynamic regime. // Sensor and Actuators В.- 2005. -V.106. P. 691−699.
- A.A. Vasiliev, A.V. Pisliakov, A.V. Sokolov. Thick film sensor chip for CO detection in pulsing mode: detection mechanism, design, and realization. // Proc. of XV European Conf. on Solid-State Transducers., Muenchen, V.2. 2001. — P. 1750−1754.
- A. Gramm, Z. Ankara, A. Schutze. Selective gas sensor systems based on temperature cycling and comprehensible pattern classification: a systemtic approach. // Proc. of XVII International Meeting on Chemical Sensors
- Eurosensors XVII), Guimaraes, Portugal, September 21−24, 2003. 2003. — P. 876−879.
- А.-С. Rovain, Ph. Andre, J. Nicolas. Three years experiment with the same tin oxide sensor arrays for the identification of malodorous sources in the environment. Sensor and Actuators B. 2002. — V. 84. — P. 271−277.
- Electrical equivalent models of semiconductor gas sensors using PSpice. / E. Llobet, X. Vilanova, J. Brezmes et al. // Sensor and Actuators B.-2001.-V.77.-P. 275−280.
- Response model for thermally modulated tin oxide based microhotplate gas sensor. / R. Ionescu, E. Llobet, S. A1 Khalifa et al. // Proc. of XVI European Conference on Solid-State Transducers. September 15−18. Prague. — 2002. — P. 454−455.
- S. Wlodek, K. Colbow. Kinetic model of thermally cycled tin oxide gas sensor.//Sensor and Actuators В.-1991.-V. 3.-P. 123−127.
- C. Delpha, M. Siadat, M. Lumbreras. Discrimination of a refrigerant gas in a humidity controlled atmosphere by using modelling parameters. // Sensor and Actuators B. 2000. — V. 62. — P. 226−232.
- Recognition of volatile organic compounds using Sn02 sensor array and pattern recognition analysis. / D.S. Lee, J.K. Jung, J.W. Lim et al. // Sensor and Actuators В.- 2001. V. 77. — P. 228−236.
- B.B. Кисин, B.B. Сысоев, C.A. Ворошилов. Распознование паров ацетона и аммиака с помощью набора однотипных тонкопленочных датчиков. // Письма в ЖЭТФ. 1999. Т. 25, вып. 16. С. 54−58.
- В.Е. Минайчев, В. В. Одиноков, Г. П. Тюфаева Магнетронные распылительные устройства.-М.:Высш. шк,-1979.-56 с.
- Hydrothermally treated sol solution of tin oxidefor thin film gas sensor. / N.S. Baik, G. Sakai, N. Miura et al. // Sensors and Actuators B. 2000. — V. 63.-P. 74−79.
- Gas sensing properties of tin oxide thin films fabricated from hydrothermally treated nanoparticles. Dependence of CO and H2 response on film thickness. / G. Sakai, N.S. Baik, N. Miura et al. // Sensors and Actuators B. -2001. V. 77.-P. 116−121.
- One-step solide-state reaction synthess and gas sensing property of tin oxide nanoparticles. / F. Li, J. Xu, L. Chen et al. // Sensors and Actuators B. 2002. -V. 81.-P. 165−169.
- C.A. Кузнецова., Т. Д. Малиновская., E.C. Зайцева., В. И. Сачков ЖПХ. 77, вып. 10 (2004). С. 1621−1624.
- A. Grisel, V. Demarne. An integrated low-power thin-film CO gas sensor on silicon. // Sensors and Actuators. 1988. — V. 13. — P. 301−313.
- Формирование структуры газочувствительных слоев диоксида олова, полученных реактивным магнетронным распылением. / P.M. Вощилова, Д. П. Димитров, Н. И. Долотов и др. // ФТП. 1995. — Т. 29, № 11.- С. 19 871 993.
- D.S. Vlachos, C.A. Papandopoulos, J.N. Avaritsiotis. The effect of film oxygen content on Sn02 gas-sensor selectivity. // Sensors and Actuators B. -1995.-V. 24−25.-P. 883−885.
- G. Williams, G.S.V. Coles. The influence of deposition parameters on the performance of tin oxide N02 sensors prepared by radio-freqency magnetron sputtering. // Sensors and Actuators B. 1995. — V. 24−25. — P. 469−473.
- Микроструктура и физические свойства тонких пленок Sn02. / С. И. Рембеза, Т. В. Свистова, Е. С. Рембеза и др. // ФТП. 2001. — Т. 35, № 7.- С. 796−793.
- Influence of the deposition conditions of Sn02 thin films by reactive sputtring on the sensitivity to urban pollutants. / M.C. Horrillo, P. Serrini, P. Santos et al. // Sensors and Actuators B. 1997. V. 45. — P. 193−198.
- Моделирование процесса низкотемпературного получения газочувствительных пленок оксида олова. / В. В. Кисин, С. А. Ворошилов, В. В. Сысоев и др.// ЖТФ.-1999.-Т. 69, № 4.-С. 112−113.
- V.V. Kisin, S.A. Vorochilov, V.V. Sysoev. Conductivity of Sn02 thin film in the presence of surface adsorbed species. // Sensors and Actuators B. 1999 -V. 55.-P. 55−59.
- H.K. Максимова, Ю. Г. Катаев, E.B. Черников. Структура, состав и свойства газочувствительныхпленок Sn02, легированных платиной и скандием. // ЖФХ.- 1997. Т. 71, № 8. — С. 1492−1496.
- Структура и свойства чувствительных элементов на основе диоксида олова для портативных газоанализаторов. / Ю. П. Егоров, Т. Д. Малиновская, Н. К. Максимова и др. // Конверсия. 1996. — № 6. — С. 23−25.
- Особенности электрических и газочувствительных характеристик полученных катодным напылением тонких пленок диоксида олова. О. В. Анисимов, Н. К. Максимова, Н. Г. Филонов, JT.C. Хлудкова, Е. В. Черников. // Сенсор. 2003. — № 1. — С. 35−44.
- О.В. Анисимов, Т. А. Давыдова, Н. К. Максимова, Е. В. Черников, С. С. Щеголь. Способ изготовления чувствительного элемента полупроводникового газового сенсора. Регистр. № 2 006 129 503. 15.08.2006.
- В.Т. Черепин. Методы и приборы для анализа поверхности материалов. Справочник.-Киев: Наукова думка. 1982.-400 с.
- Электрические и газочувствительные свойства резистивного тонкопленочного сенсора на основе диоксида олова. / О. В. Анисимов, В. И. Гаман, Н. К. Максимова, С. М. Мазалов, Е. В. Черников. // ФТП. 2006. -Т.40,Вып. 6.-С. 724−729.
- Peculiarities of Response to CH, and H2 of Pt/Sn02:Sb Thin Films. / O.V. Anisimov, N.K. Maksimova, S.M. Mazalov, E.V. Chernikov. // Proc. of 10th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS-10), Tsukuba, Japan, July 11−14.-2004.-P. 688−689.
- Peculiarities of Response to CO of Pt/Sn02:Sb Thin Films. / O.V. Anisimov, N.K. Maksimova, N.G. Filonov, L.S. Khludkova, E.V. Chernikov. // Proc. of
- XVII International Meeting on Chemical Sensors (Eurosensors XVII), Guimaraes, Portugal, September 21−24,2003. 2003. — P. 890−893.
- Особенности отклика тонких пленок Pt/Sn02:Sb на воздействие СО. / О. В. Анисимов, Н. К. Максимова, Н. Г. Филонов, Л. С. Хлудкова, Е. В. Черников. // ЖФХ. 2004. — Т. 78, № 10. — С. 1907−1912.
- Исследование отклика тонкопленочного сенсора на основе оксида олова в импульсном режиме для различных газов. / О. В. Анисимов, Н. К. Максимова, Е. Ю. Севастьянов, Е. В. Черников. // Известия вузов. Физика. -2006. -№ 3. С. 186−187.
- И.Т. Гороновский, Ю. П. Назаренко, Е. Ф. Некряч. Краткий справочник по химии. Киев: Наукова думка.- 1974.- 992 с.
- Ф.М. Раппопорт, А. А. Ильинская. Лабораторные методы получения чистых газов. М.: Госхимиздат. 1963.-420 с.