ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡ Π² Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠΈΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Π»Π΅ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΎΠ³Π½Π΅ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π°ΡΠ΅ΡΠΎΠ½, Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠ°Π½, Π±Π΅Π½Π·ΠΎΠ» ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅. ΠΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΡ, ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΡΠΈΠΌΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΈΡ
ΠΏΠ°ΡΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Π²ΠΎΡΠΏΠ»Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΡΠΈΠΌΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ Π½Π°Π΄ΠΎ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΠ΄ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ» [31].
ΠΠ΅ Π΄ΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ Π½Π°Ρ
ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΡ
ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ².
ΠΠ΅Π»ΡΠ·Ρ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°ΡΡ ΡΡΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π½Π° ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΎΠΌ ΠΎΠ³Π½Π΅ ΠΈ Π² ΠΎΡΠΊΡΡΡΡΡ
ΡΠΎΡΡΠ΄Π°Ρ
.
ΠΠ΅ Ρ
ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ Π² ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ΄Π΅ Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΡΡΡΠΎΠΉ ΠΊΡΡΡΠΊΠΎΠΉ.
ΠΠ΅ΡΠΆΠ°ΡΡ Π½Π° ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ΅ Π½Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π΄Π΅Π½Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ.
ΠΠ΅ΡΠ΅Π³ΠΎΠ½ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½Π° Π²ΠΎΠ΄ΡΠ½ΠΎΠΉ Π±Π°Π½Π΅ ΠΈ Ρ Π²ΠΎΠ΄ΡΠ½ΡΠΌ ΠΎΡ
Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.
ΠΠΈΠΎΠΊΡΠ°Π½ ΠΈ ΡΡΠΈΡ Π½Π΅Π»ΡΠ·Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π³ΠΎΠ½ΡΡΡ Π±Π΅Π· ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ Π½Π° ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠΈΡΠ΅ΠΉ.
ΠΠ΅Π»ΡΠ·Ρ Π²ΡΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π² ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΈΠ½Ρ.
Π’Π΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠ° Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠΌΠΈ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅
Π‘ΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ°
Π‘ΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ° — ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ Ρ
Π»ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π² Π²ΠΎΠ΄Π΅. ΠΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΡ Ρ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΈΠΌ Π·Π°ΠΏΠ°Ρ
ΠΎΠΌ. ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ
Π΅ Π΄ΡΠΌΡΡ. ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΡΠΌΠ°Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π³Π°Π·Π° Ρ Π²ΠΎΠ΄ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ
Π°. ΠΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½Π°, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ
ΡΠ΄ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ
Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ² (AsH3).
ΠΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ
ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡ
— ΡΠ°Π·Π΄ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡ
, Π² ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π½ΠΎΡΠ°; ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΊΡΠΈΠ²ΠΈΡ; ΠΏΠΎΠΌΡΡΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΈΡΡ. ΠΡ
ΡΠΈΠΏΠ»ΠΎΡΡΡ, ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ΄ΡΡΡΡ, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π² Π³ΡΡΠ΄ΠΈ, Π½Π°ΡΠΌΠΎΡΠΊ, ΠΊΠ°ΡΠ΅Π»Ρ, ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΡΠΎΠ²Ρ Π² ΠΌΠΎΠΊΡΠΎΡΠ΅.
ΠΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΡ
ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ Π½Π΅ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ Π²ΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΡΡΠ°Π΄Π°Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° ΡΠ²Π΅ΠΆΠΈΠΉ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ
, ΠΎΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΎΡ ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΡΡΠ΅ΠΉ Π΄ΡΡ
Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ΄Π΅ΠΆΠ΄Ρ. ΠΠ½Π³Π°Π»ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ. ΠΡΠΎΠΌΡΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³Π»Π°Π·, Π½ΠΎΡΠ°, ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ 2%-Π½ΡΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠΎΠ΄Ρ. ΠΡΠΈ Π·Π°ΡΡΡΠ΄Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π΄ΡΡ
Π°Π½ΠΈΡ — ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π½ΠΎΡ — 2−3%-Π½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ ΡΡΠ΅Π΄ΡΠΈΠ½Π°, ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠΎΠΆΠ½ΠΎ — Π°ΡΡΠΎΠΏΠΈΠ½. ΠΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π³Π»Π°Π· ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΡΠΎΠΌΡΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²ΠΏΡΡΡΠΈΡΡ Π² Π³Π»Π°Π·Π° ΠΏΠΎ 1 ΠΊΠ°ΠΏΠ»Π΅ 2%-Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΊΠ°ΠΈΠ½Π°. ΠΡΠΈ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΡ Π½Π° ΠΊΠΎΠΆΡ — Π½Π΅ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΌΡΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π΅ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 10−15 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ, Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ — ΠΊΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΈΠ· ΡΠΎΠ΄Ρ. ΠΠΠ — 5ΠΌΠ³/ΠΌ3.