Этапы формирования тонких пленок

Существует несколько этапов образования зародышей и роста пленки:

• 1 Появление адсорбированных атомов.
• 2 Образование субкритических кластеров разного размера.
• 3 Образование зародышей критического размера.
• 4 Рост этих зародышей до сверхкритических размеров с результирующим обеднением атомами зон захвата вокруг зародышей. Образование критических зародышей на площадях не обедненных атомами.
• 5 Зародыши соприкасаются друг с другом и срастаются, с образованием нового островка, занимающего площадь меньше, чем сумма площадей объединившихся зародышей, это приводит к увеличению свободной поверхности подложки.
• 6 Атомы адсорбируются на этих освободившихся участках, и наступает процесс вторичного образования зародышей.
• 7 Большие островки срастаются, оставляя каналы или полости в пленке.
• 8 Каналы и полости заполняются в результате вторичного зародышеобразования и образуется сплошная пленка (рисунок 4).

Рисунок 4 — Этапы формирования пленки Наименьшие зародыши, которые можно заметить в электронный микроскоп имеют размер 20 Е. Зародыши растут в трех измерениях, но рост вдоль поверхности подложки как правило значительно более быстрый чем по нормали. Это обусловлено доминирующей ролью в процессе роста поверхностно диффундирующих адсорбированных атомов в сравнении с ролью атомов приходящих на зародыши непосредственно из паровой фазы.

Коалесценция длиться менее 0,1 с для малых зародышей и характеризуется уменьшением полной площади проекции зародышей на подложку и увеличением их по высоте. Зародыши с четко выраженными кристаллографическими формами в процессе срастания округляются. Получившийся островок снова принимает кристаллографическую форму, если он достаточно долгое время не взаимодействует с соседними островками. На стадии зародыше образования кристаллики, в основном, имеют форму треугольника, после коалесценции приобретают форму шестиугольника, но часто с дефектами (рисунок 5).

Рисунок 5 — Схема изменения формы островков в процессе их коалесценции Процесс коалесценции приводит к увеличению свободной поверхности подложки, и к образованию вторичных зародышей между островками. Основным механизмом переноса массы при коалесценции является поверхностная диффузия. Движущей силой коалесценции является уменьшение поверхностной энергии. После того, как при коалесценции произошло основное уменьшение поверхностной энергии, дополнительное ее уменьшение происходит за счет образования граничных плоскостей с предпочтительной кристаллографической ориентацией. Островок, образующийся в ходе слияния, продолжает менять свою форму в течение довольно длительного времени.

По мере роста островков степень округления после срастания островков уменьшается. Значительные изменения формы ограничиваются областями в непосредственной близости от места соединения. Поэтому островки вытягиваются и образуют сетчатую структуру, в которой конденсированный материл разделен длинными, узкими каналами неправильной формы, шириной 50 — 200 Е. Зарастание каналов происходит по механизму образования вторичных зародышей, их роста и при прикосновении к стенкам канала образуются мостики, которые быстро разрастаются. В результате образуется пленка со множеством мелких дырок, зарастание которых происходит по аналогичному механизму через образования вторичных зародышей, их срастания, присоединения к пленке, очищение дырки и вновь образования вторичных зародышей и так до полного заполнения дырки. На стадии роста пленки, характеризующейся образованием каналов и дырок, вторичные зародыши и островки объединяются с массивными областями относительно быстро, менее чем за 0,1 с.

Общий механизм роста поликристаллических слоев похож на механизм роста эпитаксиальных пленок, за исключением того, что срастающиеся островки в этом случае имеют произвольную относительную ориентацию, подчиняющуюся случайному закону распределения. Во время срастания происходит рекристаллизация, поэтому размер зерен растет [3].